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热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算
外文标题Simulations of Temperature Profile of Thermal Excited Silicon Resonant Pressure Sensor using FEM
文献类型期刊
作者樊尚春[1];邢维巍[2];贾振宏[3]
机构
来源信息年:2002卷:23期:z2页码范围:561-562
期刊信息仪器仪表学报ISSN:0254-3087
关键词热激励;谐振式传感器;压力传感器;硅微结构;有限元法
摘要针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构,利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算.分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时;梁谐振子长度、宽度、厚度变化时;以及激、拾振电阻共同作用时,梁谐振子温度场的分布规律.
收录情况PKUCSCD
所属部门自动化科学与电气工程学院
链接地址http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_yqyb2002z2046.aspx
DOI10.3321/j.issn:0254-3087.2002.z2.046
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dc:title:热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算
dc:creator:樊尚春;邢维巍;贾振宏
dc:date: publishDate:2002-12-30
dc:type:期刊
dc:format: Media：仪器仪表学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：仪器仪表学报.2002,23(z2),561-562.
dc:identifier:DOI：10.3321/j.issn:0254-3087.2002.z2.046
dc: identifier:ISBN:0254-3087
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