一种用于电子薄膜导热系数和发射率测量的实验方案
| 外文标题 | METHOD OF DETERMINATION OF THERMAL CONDUCTIVITY AND EMISSIVITY OF ELECTRONIC THIN FILMS |
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 余雷[1];余建祖[2];高泽溪[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学电子工程系!北京100083 [2]北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学电子工程系!北京100083 [3]北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学飞行器设计与应用力学系!北京100083,北京航空航天大学电子工程系!北京100083 ↓ |
| 来源信息 | 年:2001卷:22期:3页码范围:227-230 |
| 期刊信息 | 航空学报ISSN:1000-6893 |
| 关键词 | 薄膜;热物性参数;导热系数;发射率;测量技术 |
| 摘要 | 薄膜传热性能对微电子设备的传热能力及其性能和可靠性有重大影响，测量薄膜的热物性参数并进一步研究其影响因素，可为微电子电路的设计和发展提供科学依据。评述了薄膜导热系数测量和研究的现状，在此基础上提出了一种新的能同时测量衬底薄膜导热系数和发射率的实验方案，并通过建立衬底薄膜试样传热的数学模型和分析推导，论证了该实验方案的可行性。本实验方案可推广应用于确定淀积在衬底薄膜上各种极小厚度薄膜的导热系数和发射率。 |
| 收录情况 | PKU |
| 所属部门 | 航空科学与工程学院 |
| 链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_hkxb200103022.aspx |
| DOI | 10.3321/j.issn:1000-6893.2001.03.022 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
| 基金 | 国家自然科学基金 |
全文
影响因子：
dc:title:一种用于电子薄膜导热系数和发射率测量的实验方案
dc:creator:余雷;余建祖;高泽溪
dc:date: publishDate:2001-05-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：航空学报
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：航空学报.2001,22(3),227-230.
dc:identifier:DOI：10.3321/j.issn:1000-6893.2001.03.022
dc: identifier:ISBN:1000-6893
