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参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用

北京航空航天大学 辅仁网/2017-07-06
文献详情


参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用
文献类型期刊
作者赵慧洁[1]
机构
来源信息年:2001期:02页码范围:6-9+18
期刊信息宇航计测技术ISSN:1000-7202
关键词参数估计;+横向定位;+微细图形
摘要引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题 :提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明 ,在采用普通激光束径和工作台的条件下 ,系统横向定位准确度优于 0 .1μm ,同时系统的复杂性和造价大大降低。
所属部门自动化科学与电气工程学院


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dc:title:参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用
dc:creator:赵慧洁
dc:date: publishDate:2001-04-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：宇航计测技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：宇航计测技术.2001,6-9+18.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:1000-7202
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