参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 赵慧洁[1] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动化学院 ↓ |
| 来源信息 | 年:2001期:02页码范围:6-9+18 |
| 期刊信息 | 宇航计测技术ISSN:1000-7202 |
| 关键词 | 参数估计;+横向定位;+微细图形 |
| 摘要 | 引入了参数估计法对规则图形三维形貌测量中的关键问题 :提高差分干涉系统横向定位准确度的方法进行了理论分析。仿真计算表明 ,在采用普通激光束径和工作台的条件下 ,系统横向定位准确度优于 0 .1μm ,同时系统的复杂性和造价大大降低。 |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
全文
影响因子：
dc:title:参数估计法在规则图形三维形貌测量中的应用
dc:creator:赵慧洁
dc:date: publishDate:2001-04-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：宇航计测技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：宇航计测技术.2001,6-9+18.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:1000-7202
