材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象
文献类型 | 期刊 |
作者 | 邓忠民[1];谢季佳[2];周承恩[3];洪友士[4] |
机构 | 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 (LNM),北京100080;2.北京航空航天大学宇航学院,北京100083),(LNM),北京100080 ↓ |
来源信息 | 年:2001期:04页码范围:511-515 |
期刊信息 | 机械强度ISSN:1001-9669 |
关键词 | 磨损;微电子机械系统;研究现状 |
摘要 | 磨损是材料和机械失效的主要原因之一。本文介绍了近年来材料磨损性能研究的进展 ,磨损的几种破坏机制以及相应的磨损理论模型 ,并介绍了MEMS中磨损研究的现状。 |
收录情况 | PKU |
所属部门 | 宇航学院 |
全文
影响因子:
dc:title:材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象
dc:creator:邓忠民;谢季佳;周承恩,等
dc:date: publishDate:2001-12-30
dc:type:期刊
dc:format: Media:机械强度
dc:identifier: LnterrelatedLiterature:机械强度.2001,511-515.
dc:identifier:DOI:
dc: identifier:ISBN:1001-9669