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硅微传感器热特性测试与研究

文献类型	学位
作者	贾振宏[1]
机构	北京航空航天大学 ↓
授予学位	硕士
年度	2001
学位授予单位	北京航空航天大学
语言	中文
关键词	硅谐振式压力传感器;电热激励;温度场;有限元;参数优化
摘要	该论文主要研究电热激励方式引起的温度场对硅谐振式压力微传感器谐振频率的影响.针对硅谐振式压力微传感器的敏感结构,讨论了敏感结构电热激励的机理.用解析法和有限元法,分析研究了这种敏感结构在电热激励方式下,激励电阻和拾振电阻所引起的初始热应力对谐振子谐振频率的影响.在解析分析中,通过对复杂结构和边界条件的简化,建立起各种不同情况下的温度场模型;在有限元分析部分,从有限元方法的一般原理出发,给出了敏感结构的稳态导热有限元方程,编制了有限元程序.利用高精度的红外热像仪对实验样件在不同条件下的温度场进行测试.给出了温度分布对梁谐振子固有频率影响的数学模型,讨论了电热激励方式下谐振梁的稳定性问题以及硅谐振式压力微传感器有关参数的优化设计问题.

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dc:title:硅微传感器热特性测试与研究
dc:creator:贾振宏
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.2001.
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dc: identifier:ISBN: