电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜
| 文献类型 | 专利 |
| 发明人 | 毕晓昉[1];宫声凯[2];徐惠彬[3] |
| 机构 | 北京航空航天大学 ↓ |
| 申请人 | 北京航空航天大学 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 年度 | 2001 |
| 专利申请日期 | 2001-09-13 |
| 专利公开日期 | 2003-03-19 |
| 专利公开号 | CN1403624 |
| 专利申请号 | CN01142122.3 |
| 国家或地区 | 北京 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
| 摘要 | 一种电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜，采用双蒸发源、双电子束技术蒸发金属与陶瓷料棒，通过调节基板转速以及金属与陶瓷的蒸发速率，获得不同成分比的纳米复合膜。具体来说，在铁硅合金以及铁镍合金料棒之上放置30-150克的铌(Nb)或钨(W)，在预定电子束电压、电流、沉积速率下，将合金料棒与陶瓷料棒分别置于两个坩埚中，安装基板，抽真空至所需真空度，设定基板所需旋转速度，加热基板，分别预蒸发合金料棒与陶瓷料棒，控制蒸发量，拉开挡板，进行蒸发沉积。 |
影响因子：
材料科学系
材料物理与化学系
材料科学与工程学院
dc:title:电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜
dc:creator:毕晓昉;宫声凯;徐惠彬
dc:date: publishDate:2001-09-13
dc:type:专利
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dc:identifier: LnterrelatedLiterature：2001.
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dc: identifier:ISBN:
