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微纳米表面和表层的完整性评价方法

外文标题	Mathods for Assessing Surfarce and Subsurface Integrity
文献类型	期刊
作者	李成贵[1];董申[2]
机构	[1]北京航空航天大学自控系!北京100083,哈尔滨工业大学精密工程研究所!哈尔滨150001 [2]北京航空航天大学自控系!北京100083,哈尔滨工业大学精密工程研究所!哈尔滨150001 ↓
来源信息	年:2000卷:36期:3页码范围:6-11
期刊信息	航空精密制造技术ISSN:1003-5451
关键词	超精密加工;微纳米表面;完整性
摘要	随着精密加工技术,测量和分析手段,及计算机科学的深入发展,对微纳米表面和表层完整性的评价日趋强烈.本文概括性地初步探讨了表面完整性评价时涉及到的具体评价性能和检测方法,并对几种常用的表面性能的检测方法和仪器进行了综述.
收录情况	PKU
所属部门	自动化科学与电气工程学院
链接地址	http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_hkjmzzjs200003002.aspx
DOI	10.3969/j.issn.1003-5451.2000.03.002

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dc:title:微纳米表面和表层的完整性评价方法
dc:creator:李成贵;董申
dc:date: publishDate:2000-06-15
dc:type:期刊
dc:format: Media：航空精密制造技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：航空精密制造技术.2000,36(3),6-11.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1003-5451.2000.03.002
dc: identifier:ISBN:1003-5451