三维表面微观形貌的测量方法
| 外文标题 | The measurement techniques of 3D surface microtopography |
| 文献类型 | 期刊 |
| 作者 | 李成贵[1];李行善[2];强锡富[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动化学院 [2]北京航空航天大学自动化学院 [3]北京航空航天大学自动化学院 ↓ |
| 来源信息 | 年:2000卷:20期:4页码范围:2-10 |
| 期刊信息 | 宇航计测技术ISSN:1000-7202 |
| 关键词 | +表面形貌;三维测量;发展趋势 |
| 摘要 | 分析了表面结构的形成过程及其分类,介绍了目前在3D微观形貌测量过程中广泛使用的触针法、扫描探针显微镜和几种光学方法的基本原理、测量范围、分辨力等特性.最后指出了3D分析技术的现状和将来的发展趋势. |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_yhjcjs200004001.aspx |
| DOI | 10.3969/j.issn.1000-7202.2000.04.001 |
| 基金 | 中国博士后科学基金 |
全文
影响因子：
dc:title:三维表面微观形貌的测量方法
dc:creator:李成贵;李行善;强锡富
dc:date: publishDate:2000-08-25
dc:type:期刊
dc:format: Media：宇航计测技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：宇航计测技术.2000,20(4),2-10.
dc:identifier:DOI：10.3969/j.issn.1000-7202.2000.04.001
dc: identifier:ISBN:1000-7202
