硅谐振式压力微传感器
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 刘广玉[1] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学 ↓ |
| 会议论文集 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集 |
| 来源信息 | 年:2000页码范围:5 |
| 会议信息 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会ISSN: |
| 关键词 | 微传感器;硅谐振梁;徼弱信号 |
| 摘要 | 本文就谐振式压力传感器的现状,论述了该类传感器的性能和特点,给出硅谐振式压力微传感器实例,报道了新设计的一种电热激励电阻检测的硅谐振式压力微传感器,并给出开环和闭环测试结果。 |
| 会议地点 | 中国哈尔滨 |
| 会议开始日期 | 2000-07-01 |
全文
影响因子：
dc:title:硅谐振式压力微传感器
dc:creator:刘广玉
dc:date: publishDate:2000-07-01
dc:type:会议
dc:format: Media：2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会.2000,5.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
