纳米硅薄膜的掺杂及其应用研究进展
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 邓加军[1];陈强[2] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学理学院 [2]北京航空航天大学理学院 ↓ |
| 会议论文集 | 2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集 |
| 来源信息 | 年:2000页码范围:5 |
| 会议信息 | 2000年中国材料研讨会ISSN: |
| 关键词 | 纳米硅;掺杂;电输运 |
| 摘要 | 本文介绍了纳米硅薄膜的掺杂及其应用研究进展,包括制备技术、生长机制、微结构、掺杂特性、电输运、光学特性以及应用等几个方面。这些研究进展说明,纳米硅薄膜是一种具有广泛应用前景的半导体光电材料,预期在将来有更大的发展。 |
| 所属部门 | 物理科学与核能工程学院 |
| 会议开始日期 | 2000-06-30 |
全文
影响因子：
物理系
dc:title:纳米硅薄膜的掺杂及其应用研究进展
dc:creator:邓加军;陈强
dc:date: publishDate:2000-06-30
dc:type:会议
dc:format: Media：2000年中国材料研讨会
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：2000年中国材料研讨会.2000,5.
dc:identifier:DOI：
dc: identifier:ISBN:
