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硅谐振压力微传感器闭环系统的研究

文献类型	学位
作者	王权[1]
机构	北京航空航天大学 ↓
授予学位	硕士
年度	2000
学位授予单位	北京航空航天大学
语言	中文
关键词	硅谐振微传感器;闭环自激系统;热激励;开环振动
摘要	该文对正在研制中的电阻热激励/压阻拾振的硅谐振压力微传感元件进行了基本的理 论分析和深入的开环、闭环实验研究,设计并调试完成了硅谐振压力微传感器的闭环自激电路.提出了用锁相环代替传统的带通滤波器,有效地抑制了噪声及干扰.结果表明,锁相分频方案是成功的,在满量程范围内,闭环系统均能可靠工作.

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dc:title:硅谐振压力微传感器闭环系统的研究
dc:creator:王权
dc:date: publishDate:1753-01-01
dc:type:学位
dc:format: Media：北京航空航天大学
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：北京航空航天大学.2000.
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dc: identifier:ISBN: