硅谐振微传感器频率特性测试技术的研究
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 邢维巍[1];周浩敏[2];刘广玉[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学 [2]北京航空航天大学 [3]北京航空航天大学 ↓ |
| 会议论文集 | 第六届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 |
| 来源信息 | 年:1999页码范围:32～37 |
| 会议信息 | 第六届全国敏感元件与传感器学术会议ISSN: |
| 关键词 | 硅谐振微传感器;谐振频率;感压膜层;硅谐振梁 |
| 摘要 | 硅谐振传感器与常规的谐振传感器相比，由于其敏感结构尺寸微小化，导致所要处理的信号微弱，谐振频率高于音频范围，并要求扫描的频率间隔达0.01Hz，这些要求对硅谐振微传感器频率特性的测量带来新的难题。 |
| 全文链接 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_122307.aspx |
| 会议地点 | 北京 |
| 会议开始日期 | 1999-10-01 |
| 人气指数 | 1 |
| 浏览次数 | 1 |
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影响因子：
dc:title:硅谐振微传感器频率特性测试技术的研究
dc:creator:邢维巍;周浩敏;刘广玉
dc:date: publishDate:1999-10-01
dc:type:会议
dc:format: Media：第六届全国敏感元件与传感器学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：第六届全国敏感元件与传感器学术会议.1999,32～37.
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