谐振式硅微结构压力传感器
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 樊尚春[1];刘广玉[2] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学自动控制系(北京 [2]北京航空航天大学自动控制系(北京 ↓ |
| 会议论文集 | 第六届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 |
| 来源信息 | 年:1999页码范围:20～25 |
| 会议信息 | 第六届全国敏感元件与传感器学术会议ISSN: |
| 关键词 | 谐振式微传感器;硅微结构;压力传感器 |
| 摘要 | 该文对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件；硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究：建立了微传感器敏感结构的数学模型；敏感结构参数：方形膜边长4mm，膜厚0.1mm，梁谐振子长1.3mm，宽0.08mm，厚0.007mm；对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试，讨论了传感器的闭环系统。 |
| 所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
| 全文链接 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_323915.aspx |
| 会议地点 | 北京 |
| 会议开始日期 | 1999-10-01 |
| 人气指数 | 2 |
| 浏览次数 | 2 |
全文
影响因子：
dc:title:谐振式硅微结构压力传感器
dc:creator:樊尚春;刘广玉
dc:date: publishDate:1999-10-01
dc:type:会议
dc:format: Media：第六届全国敏感元件与传感器学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：第六届全国敏感元件与传感器学术会议.1999,20～25.
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