硅谐振压力微传感器开环自动测试技术
外文标题 | Autotesting Technologies in Open-loop Test to the Silicon Resonant Pressure Microsensor |
文献类型 | 期刊 |
作者 | 周浩敏[1];邢维巍[2] |
机构 | [1]北京航空航天大学自动控制系302教研室!100083,北京航空航天大学自动控制系302教研室!100083 [2]北京航空航天大学自动控制系302教研室!100083,北京航空航天大学自动控制系302教研室!100083 ↓ |
来源信息 | 年:1999卷:18期:3页码范围:12-14 |
期刊信息 | 测控技术ISSN:1000-8829 |
关键词 | 硅谐振微传感器;自动测试;同频干扰 |
摘要 | 鉴于微传感器敏感元件的尺寸已经是"微米"级,并且所要处理的信号最大仅为微伏量级,信噪比极低,因此在微传感器的开环测试中需要采取新的技术和测试方法.本文主要讨论了硅谐振压力微传感器开环测试中的自动测试以及同频干扰问题. |
所属部门 | 自动化科学与电气工程学院 |
链接地址 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_ckjs199903004.aspx |
DOI | 10.3969/j.issn.1000-8829.1999.03.004 |
人气指数 | 2 |
浏览次数 | 2 |
基金 | 航空基础科学基金; 航空预研基金 |
全文
影响因子:
dc:title:硅谐振压力微传感器开环自动测试技术
dc:creator:周浩敏;邢维巍
dc:date: publishDate:1999-03-15
dc:type:期刊
dc:format: Media:测控技术
dc:identifier: LnterrelatedLiterature:测控技术.1999,18(3),12-14.
dc:identifier:DOI:10.3969/j.issn.1000-8829.1999.03.004
dc: identifier:ISBN:1000-8829