掺杂纳米硅薄膜微结构的研究
| 文献类型 | 会议 |
| 作者 | 王金良[1];徐刚毅[2];王天民[3] |
| 机构 | [1]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 [2]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 [3]北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心 ↓ |
| 会议论文集 | 第十二届全国半导体物理学术会议论文集 |
| 来源信息 | 年:1999页码范围:51-51 |
| 会议信息 | 第十二届全国半导体物理学术会议ISSN: |
| 关键词 | 掺杂纳米硅;薄膜微结构 |
| 所属部门 | 材料科学与工程学院 |
| 全文链接 | http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_29855.aspx |
| 会议地点 | 上海 |
| 会议开始日期 | 1999-10-18 |
全文
影响因子：
dc:title:掺杂纳米硅薄膜微结构的研究
dc:creator:王金良;徐刚毅;王天民
dc:date: publishDate:1999-10-18
dc:type:会议
dc:format: Media：第十二届全国半导体物理学术会议
dc:identifier: LnterrelatedLiterature：第十二届全国半导体物理学术会议.1999,51-51.
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