二维码（扫一下试试看！） | | 高精度平面光栅尺测量系统减振技术研究 | | Research on Vibration Reduction Technology of High-Precision Plane Grating Scale Measurement System | | 投稿时间：2020-05-26 | | DOI：10.15918/j.tbit1001-0645.2020.084 | | 中文关键词:光刻机平面光栅尺热解耦粘滞阻尼平面光栅尺测量系统平面光栅尺载体 | | English Keywords:scannerplane grating scalethermal decouplingviscous dampingplane grating scale measurement system (PSMS)plane grating scale carrier(PSC) | | 基金项目:国家部委基金资助项目（2017ZX02101） | | | 摘要点击次数:476 | | 全文下载次数:249 | | 中文摘要: | | 高精度平面光栅尺测量系统的测量精度直接影响浸没光刻机硅片台的定位精度和稳定时间.考虑到安装在平面光栅尺载体上的平面光栅尺因其载体固有频率较低，易受到主基板残余振动和高速硅片台气压扰动而产生振动，因此研究平面光栅尺载体的减振技术意义重大.文中阐述了一种新型平面光栅尺载体减振方法，围绕热解耦技术和粘滞阻尼吸振技术，进行理论建模、仿真分析和测试评价.结果表明粘滞阻尼器和柔性结构并联系统可以显著改善平面光栅尺载体结构动态特性，提升平面光栅尺测量系统的测量精度及缩短硅片台的稳定时间. | | English Summary: | | High-precision plane grating scale measurement system (PSMS) is the core measurement system of immersion scanner.Its measurement accuracy directly affects the positioning accuracy and settling time of wafer stage in immersion scanner.The plane grating scale (PS) is mounted on the plane grating scale carrier (PSC).Due to the low natural frequency of PSC,it is easy to be vibrated by the residual vibration of the main plate and the pressure disturbance of the high-speed wafer stage,so it is of great significance to study the vibration damping technology of PSC.In this paper,a new type of PSC vibration damping method was introduced,focusing on thermal decoupling technology and viscous damping vibration absorption technology.With the use of theoretical modeling,simulation analysis and test evaluation,the results show that the parallel system of viscous damper and flexible structure can significantly improve the dynamic characteristics of PSC structure,improve the measurement accuracy of plane grating scale measurement system and shorten the settling time of wafer stage. | | 查看全文查看/发表评论下载PDF阅读器 | |
洪学宝,张波,杨东凯,汉牟田.地基GNSS-R功率测量应用中的天线方向性影响分析[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2021,41(6):658~664.HONGXuebao,ZHANGBo,YANGDongkai,HANMutian.AntennaDirectivityEffectAnalys ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21高超,陈文强,王洪叶,白杨.一种RCS近场测量中天线方向图补偿方法[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(1):58~63.GAOChao,CHENWen-qiang,WANGHong-ye,BAIYang.AntennaCompensationinNearFieldRCSMeasu ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21王向周,史小敏,郑戍华.一种动态窗口调整IAE滤波器的立体视觉测量滤波[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(2):169~174.WANGXiang-zhou,SHIXiao-min,ZHENGShu-hua.AnIAEFilterwithDynamicResizingWindow ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21江维,王杰,陈伟,余联庆,李红军,吴功平.半结构环境中电力作业机器人机械手鲁棒轨迹跟踪控制[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(4):391~398.JIANGWei,WANGJie,CHENWei,YULian-qing,LIHong-jun,WUGong-ping.Manipu ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21陈强华,刘斌超,罗会甫,罗军,吕唯唯,王锋.采用三稳频激光源实现绝对长度测量[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(5):441~446.CHENQiang-hua,LIUBin-chao,LUOHui-fu,LUOJun,LWei-wei,WANGFeng.AbsoluteLeng ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21江维,周志远,陈伟,余联庆,李红军,吴功平.高压电缆移动作业机器人机械手双闭环自主定位控制[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(6):589~596.JIANGWei,ZHOUZhi-yuan,CHENWei,YULian-qing,LIHong-jun,WUGong-Ping.M ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21严保康,周凤星,徐波.基于GST的变速机械故障信号稀疏特征提取方法[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(6):603~608.YANBao-kang,ZHOUFeng-xing,XUBo.SparseFeatureExtractionforVariableSpeedMachiner ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21程一斌,侯俊峰,王东光.组合波片的椭圆率角测量方法[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(7):750~755.CHENGYi-bin,HOUJun-feng,WANGDong-guang.MethodforMeasuringEllipticityAngleofCompositeWa ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21吴鹏,孟祥远,王子晔,高建伟.基于神经动力学的冗余机械臂恒定转速比算法[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(10):1081~1085.WUPeng,MENGXiang-yuan,WANGZi-ye,GAOJian-wei.ConstantRotationRatioofRedund ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21.北京理工大学学报2019年总目次（第39卷）[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2019,39(12):1321~1338..[J].TransactionsofBeijingInstituteofTechnology,2019,39(12):1321-1338.二维码（扫一下试试看！）北京理 ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21
| |
