二维码（扫一下试试看！） | | 采用三稳频激光源实现绝对长度测量 | | Absolute Length Measurement Based on Three Frequency-Stabilized Lasers | | 投稿时间：2018-03-07 | | DOI：10.15918/j.tbit1001-0645.2019.05.001 | | 中文关键词:测量绝对长度合成波长相移干涉光路三稳频激光源 | | English Keywords:measurementabsolute lengthsynthetic wavelengthphase shift interferometerthree frequency-stabilized lasers | | 基金项目:国家自然科学基金资助项目（51005022；51575004；51775044；11774030）；北京高等学校"青年英才计划"（YETP1162）；北京市自然科学基金资助项目（3162010）；北方工业大学科研启动基金项目；北京市属高校基本科研业务费资助项目；国防科工局技术基础研究项目（JSJL2017203B018） | | | 摘要点击次数:938 | | 全文下载次数:400 | | 中文摘要: | | 合成波长法利用多个波长构建数值足够大的合成波长，从而可实现绝对测量.然而实际应用中要找到波长值合适且波长稳定性足够高的多个波长难度很大.本文研究了一种长度绝对测量光路，采用三个高精度稳频波长构建合成波长链，建立合成波长链测量公式及其级间过渡条件，搭建相移干涉光路测量各单一波长的干涉级次小数值，最后实现绝对长度的高精度测量.对零膨胀微晶玻璃样品进行了长度测量实验，实验结果及误差分析表明长度测量不确定度约为3 nm.所提方法对样品的初测精度要求较低，而测量范围仅受干涉光路的长度限制. | | English Summary: | | To measure absolute length, the synthetic wavelength methods must construct a long enough synthetic wavelength made use of several single wavelengths, and make integer of the interference order be zero or a deterministic value. However, it is not easy to find corresponding wavelengths with appropriate values and high wavelength stability in practice. In this paper, a synthetic wavelength absolute measurement method was presented, adopting three high frequency stability lasers to form the synthetic wavelength chain. The measurement equations as well as the transition conditions between grades were derived. And a corresponding phase shift interference optical path was built to make high precision measurement for the absolute length value of the sample. The experiment and error analysis results show the measurement uncertainty is about 3 nm (at 0.3 m sample). In this method the requirement for initial measurement accuracy of the length is low and the measurement range is only limited by the length of the interferometric optical path. | | 查看全文查看/发表评论下载PDF阅读器 | |
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