二维码（扫一下试试看！） | | 基于光敏玻璃的垂直互连通孔仿真与电镀工艺研究 | | Formation and Metallization Process Study on High Aspect Ratio Through-Glass-Via (TGV) Within Photosensitive Glass | | 投稿时间：2016-04-29 | | DOI：10.15918/j.tbit1001-0645.2018.01.009 | | 中文关键词:转接板技术光敏玻璃玻璃通孔电流密度填充工艺 | | English Keywords:interposer technologyphotosensitive glassthrough glass viacurrent densityfilling process | | 基金项目:国家重大专项基金资助项目（2013ZX02502） | | 作者 | 单位 | | 林来存 | 中国科学院 微电子研究所, 北京 100029 | | 王启东 | 中国科学院 微电子研究所, 北京 100029 | | 邱德龙 | 中国科学院 微电子研究所, 北京 100029 | | 伍恒 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司, 江苏, 无锡 24135 | | 薛恺 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司, 江苏, 无锡 24135 | | 于大全 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司, 江苏, 无锡 24135 | | 曹立强 | 中国科学院 微电子研究所, 北京 100029 |
| | 摘要点击次数:956 | | 全文下载次数:749 | | 中文摘要: | | 本文对玻璃通孔与硅通孔垂直互连结构进行了电磁场仿真，并对比了两者的高频传输特性，结果显示在20GHz处，玻璃通孔与硅通孔的插入损耗分别为-0.024dB和-1.62dB，玻璃通孔的高频传输性能明显优于硅通孔.基于光敏玻璃衬底，采用高刻蚀速率的湿法腐蚀方法，获得了深宽比为7：1的玻璃通孔，孔阵列均匀性良好，侧壁粗糙度小于1μm.对不同电流密度下的玻璃通孔填充工艺进行了仿真分析，结果显示在小电流密度下，开口处的电流密度拥挤效应改善明显，铜层生长速度更为均匀，但沉积速度较慢.基于仿真结果，进行了电流密度为1ASD下的通孔填充实验研究，结果显示填充效果良好，120μm的TGV中铜层生长均匀，70μm的TGV中的缝隙较小. | | English Summary: | | The electromagnetic simulations of through glass via (TGV) and through silicon via (TSV) were performed in this paper. Simulated results show that the insertion losses of TGV and TSV at 20GHz are -0.024dB and -1.62dB respectively, representing a much higher performance of TGV. Based on photosensitive glass, 7:1 high aspect ratio of TGV was obtained by using high speed wet etching method, achieving better array profile, uniformity and less 1μm roughness of TGVs. Filling process was simulated under different current densities. Results show that smaller current density is helpful to achieve uniform filling due to the improvement of crowding effect of current density at the top and bottom of TGVs, the development speed of copper layer is more uniform and slow. A verification filling experiments were carried out under the current density of 1ASD. Results show a high filling quality, copper layer develops uniformly in 120μm TGVs, the seams are small in 70μm TGVs. | | 查看全文查看/发表评论下载PDF阅读器 | |
.北京理工大学学报2018年总目次（第38卷）[J].北京理工大学学报（自然科学版）,2018,38(12):1321~1338..[J].TransactionsofBeijingInstituteofTechnology,2018,38(12):1321-1338.二维码（扫一下试试看！）北京理 ... 北京理工大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-21北京低边界层雨滴谱的垂直分布特征唐继顺1,2,刘晓阳1,?,刘均慧1,李爱国3,王鹏飞41.北京大学物理学院大气与海洋科学系,北京1008712.91197部队,青岛2664053.中国科学院大气物理研究所大塔分部,北京1000204.北京智阳科技有限公司,北京100020收稿日期:2020-12- ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20北京市公共服务设施可达性及其对住房价格的影响李然好,龚世泽,高勇?北京大学地球与空间科学学院,北京100871收稿日期:2020-08-13修回日期:2020-12-02出版日期:2021-09-20基金资助:国家自然科学基金(41971331)资助AccessibilityofPublicServ ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20冬奥会申办成功对北京旅游目的地感知形象的影响丛丽1,?,徐琳琳1,2,3,方小雨11.北京林业大学园林学院旅游管理系,北京1000832.中国科学院地理科学与资源研究所,中国科学院区域可持续发展分析与模拟重点实验室,北京1001013.中国科学院大学资源与环境学院,北京100049收稿日期:2020 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20北京冬奥会和冬残奥会历史同期气溶胶污染的高空环流特征研究缪育聪1,2,?,彭艳玉1,2,李建1,张根1,21.中国气象科学研究院灾害天气国家重点实验室,北京1000812.中国气象局大气化学重点开放实验室,北京100081收稿日期:2020-06-16修回日期:2020-07-02出版日期:2020 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20基于小时温度数据的北京市热岛时空变化与土地利用分析周小康1,李靖2,赵昕奕1,?1.北京大学城市与环境学院,教育部地表分析与模拟重点实验室,北京1008712.北京市气象台,北京100089收稿日期:2019-09-08修回日期:2019-12-23出版日期:2020-09-20基金资助:国家自然科 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20基于手机信令数据的特大城市人口时空分布及其社会经济属性估测——以北京市为例海晓东1,刘云舒2,3,赵鹏军3,?,张辉11.北京大学经济学院,北京1008712.北京大学深圳研究生院,深圳5180553.北京大学城市与环境学院,北京100871收稿日期:2019-05-10修回日期:2020-01-1 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20北京市农业发展与资源环境的耦合过程与解耦分析刘玉1,2,唐林楠1,2,潘瑜春1,2,?1.北京农业信息技术研究中心,北京1000972.国家农业信息化工程技术研究中心,北京100097收稿日期:2019-04-18修回日期:2019-05-29出版日期:2020-05-20基金资助:北京市农林科学院 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20利用探空秒数据估算北京地区日最大混合层高度王越昊1,2,李成才1,?,初奕琦3,檀望舒1,任静静11.北京大学物理学院大气与海洋科学系,北京1008712.91197部队,青岛2664053.北京无线电测量研究所,北京100854收稿日期:2019-04-02修回日期:2019-06-06出版日期: ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20北京大学道路地震学观测台阵设计及数据特点温景充1,2,鲍铁钊1,2,冯永革1,宁杰远1,2,?1.北京大学地球与空间科学学院,北京1008712.高铁地震学联合研究组,北京100029收稿日期:2019-07-15修回日期:2019-08-14出版日期:2019-09-20基金资助:国家自然科学基金 ... 北京大学科研学术 本站小编 Free考研考试 2021-12-20
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