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郭馨??????????????博士，副教授，博士生导师???????西安交通大学青年拔尖人才西安交通大学航天航空学院
联系方式
邮箱: guoxin@mail.xjtu.edu.cn地址：陕西省西安市碑林区咸宁西路28号邮编：710049
站点计数器
研究领域
???????针对国家重大需求，解决高端光刻机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括：智能芯片制造
光刻机深紫外光源研发
新型微器件设计开发???
工作经历
2021.1-至今，西安交通大学，航天航空学院，特聘研究员2016.5-2021.1，中国科学院微电子研究所，副研究员2015.7-2016.5，航天一院材料及工艺研究所，工程师
教育经历
2010.9-2015.7，清华大学，航空宇航科学与技术，博士2006.9-2010.7，清华大学，机械工程及自动化，学士
招生信息
课题组长期招收博士后、博士和硕士研究生若干名。
热忱欢迎航空宇航、力学、材料、机械等相关专业的同学来信咨询和报考。
Home - 郭 馨基本信息
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郭馨??????????????博士，副教授，博士生导师???????西安交通大学青年拔尖人才西安交通大学航天航空学院
联系方式
邮箱: guoxin@mail.xjtu.edu.cn地址：陕西省西安市碑林区咸宁西路28号邮编：710049
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研究领域
???????针对国家重大需求，解决高端光刻机研发等领域的基础科学和关键工程问题。主要研究包括：智能芯片制造
光刻机深紫外光源研发
新型微器件设计开发???
工作经历
2021.1-至今，西安交通大学，航天航空学院，特聘研究员2016.5-2021.1，中国科学院微电子研究所，副研究员2015.7-2016.5，航天一院材料及工艺研究所，工程师
教育经历
2010.9-2015.7，清华大学，航空宇航科学与技术，博士2006.9-2010.7，清华大学，机械工程及自动化，学士
招生信息
课题组长期招收博士后、博士和硕士研究生若干名。
热忱欢迎航空宇航、力学、材料、机械等相关专业的同学来信咨询和报考。
研究方向 - 郭 馨领域与项目
1. 光刻机深紫外光源研发??????? 关键词：光刻机，深紫外激光，耦合腐蚀，微电子国家自然科学基金青年基金, 氟化物准分子激光器电极中非主量元素参与的腐蚀机制研究, 2018/01-2020/12, 25万元, 结题中, 主持
企业研发课题，CaF2光学元件损伤研究，2019/01-2019/12，50万元，结题，主持
企业研发课题，准分子激光放电腔用材料耐氟和光源关键光学元件性能对比研究，2020/02-2020/12，38万元，结题，主持
中科院光电院项目, 准分子激光抛光SiC陶瓷作用机理与关键参量研究, 2017/01-2018/06, 20万元, 结题, 主持
国家02重大专项, 40W 4kHz ArF 曝光光源产品开发, 2016/05-2021/12, 1.7亿元, 在研, 骨干成员
国家02重大专项, 浸没式曝光光源研制与小批量产品生产能力建设, 2016/01-2021/12, 3.5亿元, 在研, 骨干成员
中科院微所基金, 准分子激光器关键技术研究, 2020/01-2021/12, 70万元, 在研, 分任务负责人
中科院光电院项目, CFRP表面的准分子激光清洗技术研究, 2018/01-2020.12, 20万元, 结题, 骨干成员
中科院光电院项目, 激光激发合金材料制备技术可行性研究, 2017/11-2018/12, 150万元, 结题, 分任务负责人
???????2. 新型微器件设计开发、智能芯片制造
??????? 关键词：新型微器件，智能材料，光机电效应，激光诱导纳米晶/石墨烯西安交通大学青年拔尖人才支持计划，2021/01-2027/01,100万元，在研，主持
中科院微所自主项目, 光子设计自动化平台研发, 2020/03-2023/03, 1000万元, 在研, 骨干成员
军科委项目, XXX智能设计基础研究, 2019/12-2024/12, 3089万元, 在研, 骨干成员
3. 极端环境与极限表征 关键词：极端环境，跨尺度表征???????航天军工课题, XXX贮箱整体成形薄壁大尺寸半球壳体制造工艺, 2015.07-2016.04, 结题, 骨干成员
科研成果 - 郭 馨论文期刊
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论文标题作者发表/完成日期期刊名称
Tunable electroluminescence in ionic liquid gated atomically thin p-n junction Chunrui Han, Yu Wang, Xin Guo, Lujun Bai, Jianting Ye 2020-09-28 The 4th Microna optical technology and application seminar
我国准分子激光技术发展现状及趋势研究 范元媛，周翊，郭馨，王倩，金春水，楼祺洪 2020-06-15 中国工程科学
Corrosion behavior of aluminum in fluoride-containing discharge condition for excimer laser structure application Guo, X., Zhou, Y., Wang, Y., Jiang, R 2019-08-07 Materials Research Express
Research status and analysis of fifth-harmonic-generation for ~1μm laser Fan, Y., Guo, X., Wang, Q., Deng, W., Yan, B., Qi, Y., Zhou, Y 2019-05-11 Proc. SPIE
Influence of alkaline oxide on the deformation of ceramic shell mould at high temperatures during investment casting Wei, Y., Lu, Z., Guo, X 2018-12-01 Ceramics International
Interface reaction during titanium alloys investment casting by residue gas in ceramic mold Wei, Y., Lu, Z., Li, X., Guo, X 2018-10-11 Rare Metals
Ablation effects and mechanism of sintered silicon carbide ceramics by an ArF excimer laser Xin Guo, Jinbin Ding, Yi Zhou, Yu Wang 2018-09-10 Chinese Optics Letters
Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process Guo, X., Ding, J., Zhou, Y., Wang, Y 2018-01-03 High Power Laser Science and Engineering
Reaction of titanium investment castings made by Zr(CH3COO)2-Y2O3 shell Xin Guo, Ya-Meng Wei, Zhi-Gang Lu 2017-06-15 Rare Metals
The mechanism and influence of re-dissolution in zirconium diacetate-yttria shell for titanium investment casting Guo, Xin; Lu, Zhigang; Li Peijie 2016-02-15 Rare Metal Materials and Engineering
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专利
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专利名称申请号专利类型申请日期
一种零件涂层制备装置及零件涂层制备方法、终端装置 CN5.4 发明 2020.10.09
一种工件预处理设备及其预处理方法 CN2.9 发明 2020.06.20
一种匀光参数的配置装置及方法、剥离系统及方法 CN8.2 发明 2020.02.28
一种激光加工方法和设备 CN1.4 发明 2020.02.24
检测装置、检测准分子激光器放电腔部件钝化程度的方法 CN0.5 发明 2020.02.24
液滴靶生成装置及其温度控制系统 CN5.6 实用新型 2018.04.09
EUV光源液滴发生装置及其温度控制系统 CN4.6 发明 2018.04.09
准分子激光器窗片的更换装置 CN7.6 实用新型 2018.01.25
一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 CN2.0 实用新型 2018.01.25
准分子激光器窗片的更换装置和更换方法 CN6.4 发明 2018.01.25
一种准分子激光器放电腔气体的检测方法及模块 CN7.0 实用新型 2018.01.25
一种激光修复与抛光陶瓷零件的方法 CN7.9 实用新型 2017.08.02
一种多孔陶瓷的准分子激光抛光及检测方法 CN8.9 发明 2017.08.02
干燥及预钝化装置 CN2.2 实用新型 2017.05.23
干燥及预钝化装置及方法 CN1.1 发明 2017.05.23
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