技术物理学院源于1960年设立的无线电物理及电子器件系，包括信息论、量子无线电、天线与电波传播、微波技术、半导体物理与器件、无线电物理与材料和电真空等专业，我国最早从事信息科学、物理电子学及材料科学技术的教学与科研单位之一。为了适应科技发展和国家建设的需要，专业设置和教学内容进行了调整和更新。1970年更名为技术物理系，专业调整为光电子技术、微电子技术和电子材料与元器件三个大学本科专业。1999年成立技术物理学院，专业调整为电子科学与技术、微电子学、光信息科学与技术。1977年恢复高考招生以来，已培养毕业了本科生（学士学位）2500余人。1981年开始招硕士研究生。目前，我院已成为具有较高学术水平的教学和科研基地，为我国光电子技术、微电子技术和材料科学技术的发展做出了较大贡献。