一 、培养目标
　　培养适应社会主义现代化建设需要，德、智、体全面发展，在光学工程学科掌握坚实的基础理论和系统的专门知识，具有从事科学研究工作或独立担负专门技术工作能力的高级专业人才。其基本要求是：
　　1．坚持以邓小平理论为指导，树立科学世界观和为人民服务的人生观，具有为国家富强、民族振兴而奋斗的事业心和责任感；
　　2．必须在本学科掌握坚实的理论基础和系统的专门知识，熟悉本学科有关研究方向的现状及发展动态；
　　3．有较强的自学能力和从事科学研究工作的能力，具有从事科学研究工作或独立担负专门技术工作的能力，具有较强的创新意识和创新能力；
　　4．掌握一门外语，具有较熟练的阅读能力，一定的写、译、听、说能力，能熟练使用一门外语为工具进行本专业的学习和科学研究；
　　5．掌握锻炼身体的基本技能，养成科学锻炼身体的习惯，具有健康的体魄。

　　二、学习年限
　　硕士研究生学制一般为二年半，其中课程学习及教学实践时间安排为一年半，学位论文工作不少于一年。硕士生应在规定的学习期限内完成培养计划规定的任务，并通过学位论文答辩，方可毕业；若在规定期限内不能完成学习任务者，根据具体情况可适当延长学习期限，但延长期限最多不得超过一年。

　　三、研究方向
　　1．微电子薄膜技术及新型半导体器件；
　　2．微光机电系统；
　　3．新型半导体材料与器件；
　　4．微细加工技术。

　　四、培养方式与方法
　　1．日常政治思想教育与政治理论学习相结合，硕士生应该认真学好政治理论课，积极参加政治学习及社会公益劳动等活动；
　　2．课程学习与课题研究并重，既要使硕士生深入地掌握基础理论和专门知识，又要培养他们科学研究的能力；
　　3．理论联系实际，在打好坚实理论基础的同时，掌握与本学科有关的较先进的科学实验的技能，以适应现代化建设的要求；
　　4．学习上提倡以教师为主导，学生为主体，采取多种学习方式，教师要因材施教，启发学生深入思考与正确判断，着重培养学生独立分析与解决实际问题的能力；
　　5．采取导师和指导小组相结合的方式，同进要发挥教研室集体的作用，注意吸收其他教师的先进经验。

　　五、课程设置与学分
　　本学科课程分为学位课和选修课两大类。学位课程必须考试，选修课可以考试或考查。硕士生在学习期限内所修课程总学分不少于33学分，其中学位课不少于21学分，补修本科课程不计入学分。学生只有修满规定的学分并完成学位论文撰写后才可参加硕士学位论文答辩。

　　六、学位论文
　　硕士生的学位论文工作应不少于一年时间；要经过文献检索、调研、开题报告、科学研究、实验、论文写作及论文答辩等环节。
　　1．学位论文选题
　　（1）选题应着重选择对国民经济具有实用价值或理论意义的课题；论文要有新见解、新内容。一般应在第三学期末提出学位论文选题报告；
　　（2）开题报告的内容、要求和规范应符合“西安工业大学硕士论文选题和开题报告的规定”，并在导师所在的院（系）做开题报告，广泛征求意见，进行修改。经导师同意后，做出学位论文工作计划，按计划开展学位论文的研究工作。
　　2．学位论文的要求
　　（1）学位论文要求在导师的指导下由硕士生独立完成。与他人共同研究的部分应加以说明；
　　（2）学位论文要注重文献阅读能力、工程设计能力、试验能力、数据分析和数据处理能力的训练和培养；论文写作要求概念清楚、立论准确、分析严谨、计算正确、数据可靠、文字简练、图表清晰、层次分明，能体现硕士生具有宽广的理论基础，较强的独立工作能力和优良的学风；
　　（3）学位论文一般包括：课题意义、国内外发展动态、需要解决的主要问题和技术途径、本人在课题中所做的工作；理论分析和公式、测试装置和试验手段；计算程序说明；试验数据处理；必要的图表曲线；结论和所引用的参考文献；
　　（4）硕士论文的撰写及打印应符合《西安工业大学硕士学位论文规范》。
　　3．学位论文答辩
　　硕士生在申请答辩之前，必须在公开出版（有CN号）的学术刊物上至少发表1篇学术论文。按有关规定组织评审答辩，答辩通过后，经院（系）、学校学位评定委员会审查合格，方可授予硕士学位。