(3042)《微机电系统及纳米技术》专业综合五
考试内容:
1.微机电系统相关概念
2.微加工技术
3. 微型传感器
4. 微型致动器
5. 微机电系统设计
6. 主要的MEMS材料及相关知识
7. 微检测技术
参考书目:
1. Chang Liu 著,黄庆安译,微机电系统基础,机械工业出版社,2007年
2.苑伟政 马炳和著,微机械与微细加工技术,西北工业大学出版社,2000年
(3042)《微机电系统及纳米技术》专业综合五
考试内容:
1.微机电系统相关概念
2.微加工技术
3. 微型传感器
4. 微型致动器
5. 微机电系统设计
6. 主要的MEMS材料及相关知识
7. 微检测技术
参考书目:
1. Chang Liu 著,黄庆安译,微机电系统基础,机械工业出版社,2007年
2.苑伟政 马炳和著,微机械与微细加工技术,西北工业大学出版社,2000年