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基本信息 The basic information
姓名: 谢建兵

学院: 机电学院


学历: 博士研究生毕业

学位: 博士


职称: 副教授

职务:


学科: 机械工程





科学研究 Scientific Research
主要研究方向为微机电系统（mems）惯性传感器及MEMS制造技术；
主持国家自然科学基金面上项目1项、青年基金1项，主持国家863计划项目2项，主持西安市科技计划项目1项；
1、国家自然科学基金青年基金，硅-玻璃-硅三层键合的微玻璃球壳谐振器制造方法研究，25万元；
2、国家自然科学基金面上项目，环间嵌入电极的多环谐振式微机械陀螺关键技术研究，60万元；
作为第二起草人制定《硅基MEMS制造技术：基于SOI硅片的MEMS工艺规范》国家标准1项；
发表论文30余篇；
申请国家发明专利39项，已授权21项；
出版专著《MEMS集成设计技术及应用》1部。




学术成果 Academic Achievements
1. Jianbing Xie *, Lei Chen, Hui Xie, Jinqiu Zhou and Guangcheng Liu. The Application of Chemical Foaming Method in the Fabrication of Micro Glass Hemisphere Resonator, Micromachines, 2018, 9(2), 1-11(SCI, EI)
2. Jianbing Xie, Qiang Shen, Yongcun Hao, Honglong Chang, Weizheng Yuan, Design, fabrication and characterization of a low-noise z-axis micromachined gyroscope, Microsystem Technologies, 2015, 21, 625-630 (SCI, EI)
3. Jianbing Xie, Yongcun Hao, Qiang Shen, Honglong Chang, Weizheng Yuan, A dicing-free soi process for mems devices based on the lag effect, Journal of Micromechanics and Microengineering, 23 (2013) 125033, doi:10.1088/0960-1317/23/12/125033(SCI, EI)
4. Jianbing Xie, Weizheng Yuan, Honglong Chang, Design and fabrication of mems gyroscopes on the soi substrate with decoupled oscillation modes, Chinese journal of mechanical engineering, vol 23. 2010(1). pp. 16-20. (SCI, EI)
5. Jianbing Xie, Yongcun Hao, Honglong Chang, Weizheng Yuan, Single mask selective release process for complex soi mems device, Key engineering materials, vol.562, pp1116-1121, 2013(SCI, EI)
6. Xie Jianbing, Song Meng, Yuan Weizheng , A high sensitivity micromachined accelerometer with an enhanced inertial mass soi mems process, proceedings of 8th ieee international conference on nano/micro engineered and molecular systems (nems), pp336-339, suzhou, china, 2013.04.07-10 (EI)
7. Jianbing Xie，Weizheng Yuan，Honglong Chang，The application of notching effect in one-step dry etch and release process for the fabrication of mems，Nanotechnology and precision engineering,vol 8. 2010(2). pp. 167-170. (EI)



荣誉获奖 Awards Information
2017年，陕西省科学技术一等奖，高精度硅微机械陀螺及其工程化技术
2016年，教育部技术发明二等奖，特种MEMS制造技术及其应用；
2009年，陕西省科学技术一等奖，MEMS集成设计工具技术及应用；
2008年，中国机械工业科学技术一等奖，任意流程的微机电系统设计工具技术及应用；
陕西省“三秦人才津贴”。





社会兼职 Social Appointments
IEEE会员；
中国微米纳米技术学会高级会员，微纳传感技术分会理事；
中国机械工程学会高级会员；
全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）观察员；
iCAN中国联盟理事会理事。




招生信息 Admission Information
欢迎来自电子信息、自动控制、微机电系统、机械电子等专业的学生报考。



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