庄须叶

姓名：庄须叶
电话：**
职称：教授
邮箱：zxye8888@163.com

个人基本情况
庄须叶，1981年生，中国党员，山东理工大学****，入选工信部“人工智能”专家库，山东省 “泰山****”青年专家，安徽省“特支计划”创新领军人才，中科院“西部之光”创新人才，中南大学特聘博士、硕士生导师，中国科技大学校外硕士生导师，蚌埠医学院****，东北大学博士后，安徽省“115产业创新团队”人才，任国际期刊《Sensors & Transducers》的客座编辑，Intech出版社特约编辑，《Applied Optics》、CMSE(International Conference on Materials Science and Engineering)、《光学精密工程》、《Journal of Nanoscience and Nanotechnology Applications》等国际期刊、会议的审稿专家，多次以专家/专家组长的身份参加省部级项目的评审活动。
主要研究方向
主要从事传感器研究，包括多传感器融合技术、智能传感器、光纤传感器、激光雷达MEMS振镜、自适应光学MEMS变形镜、气体传感器、MEMS惯导器件以及MEMS工艺技术方面的研究工作，先后承担和参研了国家重大专项、武器装备探索研究、装备预研、自然基金、863计划、中科院人才创新基金以及兵器工业集团军品、民品等多项科研工作，共计发表论文30余篇，申请发明专利20余项。
开设课程
《光电探测》、《传感器原理及应用》
近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖
专利：
1.XXX的制备方法，国防发明专利，ZL 3.5，2019年授权，排名第1
2.一种用于微机电构件硅深腔的无损检测方法，发明专利，ZL 20**，2016年授权，排名第1
3.机电设备管线固定装置，发明专利，ZL 2.9，2015年授权，排名第1
4.一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法，发明专利，ZL 2.6，2015年授权，排名第1
5.平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调滤波器，发明专利，ZL 2.2，2014年授权，排名第1
6.一种远场光纤消逝场的传感方法，发明专利，ZL 2.5，2014年授权，排名第1
7.偏转轴可自由变换的二维MEMS倾斜镜，发明专利，ZL 2.7，2013年授权，排名第1
8.微纳结构的光纤消逝场传感器，发明专利， ZL 2.5，2013年授权，排名第1
9.压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器，发明专利，ZL 2.4，2013年授权，排名第1
10.消逝场与柔性平板波联合探测生物传感器，发明专利，ZL 8.7，2011年授权，排名第4
11.D形光纤磨削夹具，发明专利，发明专利，ZL 4.9，2009年授权，排名第2
申请专利
12.2017年，发明专利“双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪” 获得受理，申请号：20**，排名第1
13.2017年，发明专利“内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪” 获得受理，申请号：20**，排名第1
14.2018年，发明专利“一种微半球谐振装置”，获得受理，申请号：3.7，排名第1
15.2018年，发明专利“一种微型半球谐振陀螺”，获得受理，申请号：7.9，排名第1
16.2018年，发明专利“一种硅片腐蚀装置”，获得受理，申请号：8.X，排名第1
项目情况
1.XXXXX研制与应用，颠覆性创新项目，（项目技术专家）；
2.微流量传感器，新品研发，项目负责人；
3.高精度XXX技术，预研，项目负责人；
4.硅基微半球陀螺的飞秒激光高精度质量调平方法研究，国家自然基金，项目负责人；
5.军民两用XX传感器，新品开发，项目负责人；
6.静电驱动MEMS振镜制作，新品开发，项目负责人；
7.硅基XXX关键工艺研究，军品预研，项目负责人；
8.MEMS半球陀螺仪半球形硅深腔的三维检测技术研究，工艺研发，项目负责人；
9.扫描电镜高精度测量方法及其误差处理技术研究，工艺研发，项目负责人；
10.硅基XX关键技术研究，探索研究，项目管理与技术负责人；
11.XXX陀螺仪，军品预研，关键器件部分负责人；
12.车用MEMS压力传感器，民品开发，主要参研人员；
13.三轴高g值加速度传感器，，工艺研发，主要参研人员；
14.晶圆级金硅共晶键合真空封装工艺研究，工艺研发，主要参研人员；
15.半球深腔内光刻的工艺研究，工艺研发，主要参研人员；
16.不等高结构的刻蚀工艺研究，工艺研发，主要参研人员。
17.新型微纳结构光纤消逝场传感器技术研究，中国科学院创新人才，项目负责人。
18.微型拉曼光谱仪研发，国家重大科学仪器设备开发和应用专项，子项目召集人。
19.此外还参与，国家自然科学基金面上项目“自适应光学系统中MEMS变形镜的时空特性研究”；四川省青年科技基金“应用于光通信的微光机电系统高性能驱动器研究”，中科院XX科技XX基金“MEMS变形镜在XXXX中应用的探索研究”，中科院光电所领域前沿部署课题“基于MEMS深刻蚀光刻的微变形镜工艺技术研究”等项目，设计了非正交二维微机械倾斜镜、多面形微机械光调制器、多单元连续面形光调制器等新器件。
获奖情况
1.集成3D曲面立体电极的硅MEMS半球陀螺仪制备技术，安徽省科学技术进步奖三等奖。
2.硅基半球谐振陀螺用谐振器关键技术研究，北方电子研究院有限公司科技进步奖特等奖；
3.关于半球陀螺3D球面电极加工工艺的创新，北方电子集团工艺创新三等奖；
4.基于微纳制造的声光传感及生化分析系统, 吉林省科技技术进步奖一等奖。
5.提高XXX型MEMS陀螺PAD点电气连接性能合格率，质量管理QC一等奖，授予单位中国兵器工业质量协会；
6.硅半球深腔PDMS脱模检测工艺技术研究，科技论文大赛一等奖，授予单位北方通用电子集团有限公司；
7.214所工艺一部“MEMS”QC小组，质量管理QC一等奖，授予单位中国兵器工业质量协会；
8.硅MEMS半球陀螺3D球面电极加工工艺研究，科技论文大赛一等奖，授予单位北方通用电子集团有限公司；
9.提高某型号陀螺VHF释放构合格率，质量管理QC二等奖，授予单位中国兵器工业质量协会；