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所在单位：信息科学与工程学院
入职时间：2018-07-25
-->学科：微电子学与固体电子学
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个人简介Personal Profile
陶继方：男，山东大学教授、博士生导师，2012年毕业于北京邮电大学（新加坡南洋理工大学联合培养），获得工学博士学位；2008-2012年，新加坡科技局微电子研究院和南洋理工大学 国际交换生/联合培养；2012-2013年，新加坡南洋理工大学博士后；2013-2014年，歌尔股份公司高级工程师、副总裁助理；2014-2018年；新加坡科技局微电子研究院 二级研究员、项目主管；2018-至今 山东大学 教授；长期从事硅基微纳光电子器件以及MEMS传感器的设计、加工和封装工艺的研究；曾获得新加坡国立研究基金、科技局-宝洁公司联合基金、科技局前沿研究项目、德国博世集团、中国科技局重点研发计划等项目及机构资助。近年来在Advanced Materials, Scientific Reports, Applied Physics Letters、IEEE-MEMS、Transducers、IEDM等国际权威期刊和国际会议上，发表学术论文50余篇，申请美国专利12项，中国发明专利4项。目前担任：Nanoscale、Optics Express、Journal of Selected Topics in Quantum Electronics、Optics Communications、Photonics Journal等期刊审稿人；IEEE会员、中国微米纳米技术学会会员；
教育经历Education Background 工作经历Work Experience
2007.92012.6
北京邮电大学工学博士微纳光电子器件的研究2008.102012.6
南洋理工大学工学无国际交换生、联合培养2008.112012.5
新加坡科技局微电子研究院无联合培养 2018.7至今
山东大学信息科学与工程学院在职2011.102012.8
新加坡南洋理工大学项目研究助理2012.92014.7
新加坡南洋理工大学博士后2013.82014.5
歌尔声学有限公司高级工程师、副总裁助理2012.72013.7
新加坡南洋理工大学博士后研究员2013.82014.5
山东歌尔股份有限公司中央研究院高级工程师、副总裁助理2014.62018.10
新加坡科技局微电子研究院二级研究员、集成光学传感器负责人研究方向Research Focus 社会兼职Social Affiliations
智能MEMS传感器硅基集成光学传感器硅基集成光电子暂无内容版权所有?山东大学 地址：中国山东省济南市山大南路27号 邮编：250100
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研究领域
（一）智能MEMS传感器
基于半导体工艺的MEMS传感器芯片，具有一致性好、成本低、集成度高等优点，被广泛应用于汽车、工业、医疗、消费电子等各个领域。与此同时，随着物联网和5G技术的发展，低功耗、高性能、高集成度的智能传感器技术将飞速发展，需求也将大幅度增加。本方向重点研究：MEMS集成红外气体传感器芯片、超低功耗MEMS传感器芯片、MEMS流量传感器芯片、测/控一体式流量芯片等。
（二）纳米光机械传感器
继光学MEMS技术之后，基于纳米光机械系统（Nano-Opto-Mechanics System，NOMS）技术获得越来越多的重视。通过在毫米尺寸的硅基芯片上，集成激光器、探测器、多种无源光器件、机械敏感结构等，构建高效率的纳米光机械耦合系统，用于设计高精度微机械/微光学传感器芯片。本方向重点研究：抗冲击惯导芯片、片上光谱分析芯片、片上病毒检测等医疗和工业领域的片上集成光子芯片技术。
(三)集成硅光传感器
纳米硅光子是在CMOS工艺的基础上开发的新型高密度集成光电子器件，利用光信号代替电信号进行高速传输和数据处理，是一种前瞻颠覆性技术，在通信、传感以及集成电路设计中均有重要用途。本方向将聚焦硅光子器件中的光源集成领域，通过仿真和工艺开发，在激光器与硅光子芯片的混合集成问题中实现突破，同时研究硅光子芯片的设计和加工技术，面向高速光通信和智能传感。
论文成果
陶继方.ZnO Nanosheets Abundant in Oxygen Vacancies Derived from Metal-Organic Frameworks for ppb-Level Gas Sensing.ADVANCED MATERIALS Journal,2020.陶继方.Sensitive and ultrasmall sample volume gas sensor based on a sealed slot waveguide.Applied Optics,2020.陶继方.On‐Chip Tailorability of Capacitive Gas Sensors Integrated with Metal–Organic Framework Films.angewandte chemie-international edition,2020.
专利
Gyroscope, methods and forming and operting the sameOptical waveguide structure and optical gas sensor, and methods of fabrication thereofOPTICAL GYROSCOPE, ELECTRO-OPTIC SYSTEM, AND METHODS OF FORMING THE SAMEMEMS device with a valve mechanismBolometer, method of fabricating the same, and bolometric methodMicro-machined optical pressure sensors
著作成果
Derived from Metal-Organic Frameworks for ppb-Level Gas Sensing
科研项目
硅基红外气体传感器系统架构设计与混合集成制造, 2020/01/01-2022/12/31, 科技部重点研发计划大电流IGBT芯片及封装技术研发及产业化, 2019/12/01-2021/12/31, 山东省重大创新工程项目数字集成MEMS红外热电堆传感器封装技术及产业化, 2019/12/01-2021/12/31, 山东省重大创新工程项目水处理光电传感器件系列产品的开发研究, 2019/10/25-2022/10/24, 校企合作项目
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当前位置：山东大学MEMS传感...>>科学研究>>研究领域（一）智能MEMS传感器
基于半导体工艺的MEMS传感器芯片，具有一致性好、成本低、集成度高等优点，被广泛应用于汽车、工业、医疗、消费电子等各个领域。与此同时，随着物联网和5G技术的发展，低功耗、高性能、高集成度的智能传感器技术将飞速发展，需求也将大幅度增加。本方向重点研究：MEMS集成红外气体传感器芯片、超低功耗MEMS传感器芯片、MEMS流量传感器芯片、测/控一体式流量芯片等。
（二）纳米光机械传感器
继光学MEMS技术之后，基于纳米光机械系统（Nano-Opto-Mechanics System，NOMS）技术获得越来越多的重视。通过在毫米尺寸的硅基芯片上，集成激光器、探测器、多种无源光器件、机械敏感结构等，构建高效率的纳米光机械耦合系统，用于设计高精度微机械/微光学传感器芯片。本方向重点研究：抗冲击惯导芯片、片上光谱分析芯片、片上病毒检测等医疗和工业领域的片上集成光子芯片技术。
(三)集成硅光传感器
纳米硅光子是在CMOS工艺的基础上开发的新型高密度集成光电子器件，利用光信号代替电信号进行高速传输和数据处理，是一种前瞻颠覆性技术，在通信、传感以及集成电路设计中均有重要用途。本方向将聚焦硅光子器件中的光源集成领域，通过仿真和工艺开发，在激光器与硅光子芯片的混合集成问题中实现突破，同时研究硅光子芯片的设计和加工技术，面向高速光通信和智能传感。
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论文成果
当前位置：山东大学MEMS传感...>>科学研究>>论文成果[1]陶继方.ZnO Nanosheets Abundant in Oxygen Vacancies Derived from Metal-Organic Frameworks for ppb-Level Gas Sensing.ADVANCED MATERIALS Journal, 2019.[2]陶继方.Sensitive and ultrasmall sample volume gas sensor based on a sealed slot waveguide.Applied Optics, 2019.[3]陶继方.On‐Chip Tailorability of Capacitive Gas Sensors Integrated with Metal–Organic Framework Films.angewandte chemie-international edition, 2019.共3条1/1 首页上页下页尾页
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著作成果
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光电器件导论/2019-2020/秋学期/64课时/4.0学分/sd01233130 光电器件导论/2018-2019/春学期/64课时/4.0学分/sd01233130 信息科学技术与创新/2018-2019/春学期/32课时/2.0学分/sd01232990
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课程名称： 学年： 学期： 学时： 学分： 课程号：
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光电器件导论 2018-2019 春学期64 4 sd01233130
信息科学技术与创新 2018-2019 春学期32 2 sd01232990
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