“十二五”国家863计划主题项目“效率10%以上50MW非晶／微晶硅叠层薄膜太阳电池成套制造工艺技术研发”由浙江正泰太阳能科技有限公司、中国科学院微电子所两家单位共同完成。科技部高新司组织项目验收，专家组一致认为，该项目完成了立项通知规定的研究内容及主要考核指标，同意通过验收。

　　项目研发期间，开展了低压力化学气相沉积法（LPCVD）制备氧化锌透明导电薄膜、等离子体增强化学的气相沉积法（PECVD）制备非晶/微晶硅叠层电池技术的研究，开发了非晶/微晶硅薄膜太阳电池生产线的LPCVD、PECVD关键核心装备和成套制造工艺技术。最终建成了年产60MW、拥有自主知识产权、关键设备采用国产设备的自主集成硅基叠层薄膜电池和组件生产线，完全掌握了高效硅基薄膜电池相关工艺、产品技术、生产运营，并进行了规模化生产。经南德认证检测集团（T?V SUD）检测，全面积组件的稳定功率为143.2峰瓦，稳定光电转换效率为10.02%。

　　项目实施带动了一大批国内太阳能电池生产设备制造商发展，促进其对产品性能的研发和技术革新，提高国内太阳能电池生产设备性能，带动行业持续健康发展。　　
信息来源：http://www.most.gov.cn/kjbgz/201803/t20180301_138304.htm