邓晓 助理教授硕导
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个人简历
教育经历：（1）2007-9至2011-6,?同济大学,?应用物理学,?学士；
（2）2014-8至2016-7,?美国国家标准技术研究院（NIST）, 光学计量, 客座研究员（Guest Researcher）/联合培养博士；
（3）2011-9至2016-12,?同济大学,?光学,?博士。
工作经历：（1）2016-12至2018-12,?同济大学,?航空航天与力学学院,?博士后；
（2）2018-12,?同济大学,?物理科学与工程学院,?助理教授，硕导。
教学情况
本科生课程《普通物理》；
本科生课程《物理实验》。
研究方向
面向先进纳米制造与晶圆光刻领域对超精密纳米计量光栅的需求，应用原子光刻技术、软X射线干涉光刻技术、多层膜光栅技术等，开展光栅、线宽等标准物质研制及应用工作。具体研究方向包括：（1）长度标准物质研制；（2）皮米级精密微位移测量；（3）计算纳米测量技术。
围绕上述研究方向，共发表SCI论文15篇（其中一作/通讯共9篇），申请国家发明专利4项（授权2项），国家一级标准物质2项，软件著作权登记3项。作为项目负责人共承担国家重点研发计划项目（2019）、国家自然科学基金面上项目（2020）、国家自然科学基金青年项目（2017）各1项。
学术兼职
全国新材料与纳米计量技术委员会（MTC29）委员（2020.07~2024.06）