微米/纳米加工技术国家级重点实验室 
 
 
　　微米/纳米加工技术国家级重点实验室自2000年批准建立以来，紧紧围绕非硅三维微加工技术，开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究，突破了一系列关键技术，开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术，建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范，研制了一批关键MEMS器件。同时以低维纳米材料制备为基础，开展与其相关的加工工艺和应用基础技术研究，在碳纳米管的表面修饰、分离、双向电泳法和自组装法排布、纳米焊接、碳纳米管气体离化传感器机理、碳纳米管光伏电池等，在制备纳电子器件关键技术取得重要突破，发表了一批高水平的文章。

　　实验室近十年来获得国家技术发明二等奖两项，国家自然科学二等奖一项，省部级奖励十多项。科研经费过亿元，发表文章一千多篇，其中高水平的SCI文章四百多篇，申请发明专利四百多项，其中授权发明专利近二百项。实验室目前有固定人员20人，其中教授9人，副教授4人，培养了五百多名硕士和博士研究生。重点实验室目前有关键设备20台套，价值1000万元以上，包括有溅射机、光刻机、RIE等MEMS关键设备。