林祖德 / 博士?助理研究员

电子邮箱：linzude@sjtu.edu.cn
办公电话：0
办公地点：综合实验楼2-309
实验室名称：智能感知与生物医学微系统
个人简介
学术研究
授课教学
　　林祖德，男，本科和硕士阶段就读于西安交通大学电子科学与技术系。硕士毕业后就职于中国电科第55研究所，从事三五族化合物半导体薄膜的生长工艺及应用研究。2015年进入上海交通大学微纳电子系攻读电子科学与技术专业博士学位，2020年博士毕业后留校工作。
　　主要研究MEMS深低温温度传感器的制备工艺及测试方法，过渡金属氮氧化物薄膜的生长工艺、导电机制及应用。以核心成员身份参与两项国家重大科技专项项目，研制的深低温温度传感器在实际中得到良好应用。目前已经发表SCI论文11篇，其中第一作者论文4篇，已获授权发明专利一项。

研究方向:
1. MEMS低温温度传感器
2. 过渡金属氮氧化物薄膜的生长、导电机制及应用
3. 微纳加工工艺。
主要论文发表：
1. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Appl. Phys. Lett.?113, 133504(1-5), (2018).
2. Z. D. Lin, X. Y. Li, et al. J. Mater. Sci.?55, 7(2881-2890), (2019).
3. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Semicond. Sci. Technol. 33, 115002(1-6), (2018).
4. Z. D. Lin, G. H. Zhan, et al. Semicond. Sci. Technol.?34, 085008(1-9), (2019).