导师介绍

导师姓名
陈迪
导师性别男
职务职称教授.
所在院系微纳科学技术研究院
所属学科电子科学与技术
研究方向微电子机械系统MEMS生物芯片
联系电话34206992
电子邮箱dchen@sjtu.edu.cn

个人简介

陈迪，男，1961年出生，1978年考入中国科技大学，1980年国家公派赴德国留学，1986年和1990年分别获德国汉堡大学化学系硕士和博士学位，1990－1992年在德国MicroParts公司从事MEMS微加工技术的博士后研究工作，自1993年起在上海交通大学先后任副教授、教授和博士生导师，目前任上海交通大学微纳科学技术研究院副院长。先后主持和承担了国防科工委、国家自然科学基金委、国家科技部、教育部、上海市科委、教委、德国西门子公司和美国3M公司的四十余项科研项目。开发出了新型X光掩模板制备工艺和新的非硅三维微加工技术－DEM技术，用微电子机械系统（MEMS）技术开发出各种微流控芯片、植入式生物微电极阵列、MEMS集成探卡、微波定向天线和MEMS惯性开关等，应用于生物医学、信息产业和国防等领域。发表论文一百三十余篇，其中被SCI、EI收入论文八十余篇，论文被引用270余次，申请发明专利30项，其中授权17项，参与撰写专著4本，主持出版《微加工导论》译著1本。“非硅MEMS技术及其应用”获2007年上海市技术发明一等奖，2008年度国家技术发明二等奖；“微流控生化芯片的结构、制造、改性及其应用”获2008年度高等学校科学研究自然科学二等奖。目前其研究领域为非硅MEMS微加工技术、植入式生物微系统、微流控芯片和RF-MEMS等。陈迪教授是中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事，全国微机电技术标准化技术委员会委员，中国医药生物技术协会生物芯片专业委员会委员，《微纳电子技术》、《纳米技术与精密工程》、《微细加工技术》《功能材料与器件学报》编辑委员会委员。
代表性论著

1.J.H.Li,D.ChenandG.Chen;“LowTemperatureThermalBondingofPMMAMicrofluidicChips”;Analyticalletters;2005,38:1127-362.G.Chen,J.H.Li,S.Qu,D.Chen,P.Y.Yang;“Lowtemperaturebondingofpoly(methylmethacrylate)electrophoresismicrochipsbyinsitupolymerization”J.ChromatographyA,2005,1094(1-2):138-1473.J.H.Li,D.Chen,J.Zhang,J.Q.Liu,J.Zhu;“IndirectlyremovalofSU-8photoresistusingPDMStechnique”,SensorsandActuators,A,2006,125:586-5894.H.B.Fang,J.Q.Liu,Z.Xu,L.Dong,D.Chen,B.C.Cai,Y.Liu;“FabricationandperformanceofMEMS-basedpiezoelectricpowergeneratorforvibrationenergyharvesting”;MicroelectronicsJournal,2006,37:1280-12845.B.Yang,J.Q.Liu,D.Chen,B.C.Cai;“Theoreticalandexperimentalresearchonadisk-typenon-contactultrasonicmotor“;Ultrasonics.2006,44(3):238-2436.J.Q.Liu,H.W.Sun,L.H.LiandD.Chen;“Anovelmethodtofabricatecomplexthree-dimensionalmicrostructures”;MicrosystemTechnologies,2006,12:786–7897.Y.Chen,P.Y.Yang,J.H.Li,D.Chen,G.Chen;“Electrophoresismicrochipswithsharpinlettips,forcontactlessconductivitydetection,fabricatedbyin-situsurfacepolymerization”;AnalyticalandBioanalyticalChemistry,2006,384(3):683-6918.G.Chen,H.M.Bao,J.H.Li,D.Chen;“Fabricationofpoly(dimethylsiloxane)-basedcapillaryelectrophoresismicrochipsusingepoxytemplates”;MicrochimicaActa,2006,153(3-4):151-1589.S.Qu,X.H.Chen,D.Chen,etal;“Poly(methylmethacrylate)CEmicrochipsreplicatedfrompoly(dimethylsiloxane)templatesforthedeterminationofcations”;Electrophoresis,2006,27(24):4910–491810.X.M.Jing,D.Chen,D.Fang,etal;“Multi-layermicrostructurefabricationbycombiningbulksiliconmicromachiningandUV-LIGAtechnology”;MicroelectronicsJournal,2007,38:120–12411.X.M.Jing,D.Chen,C.Huang,etal;“ComplexmicrostructurefabricationbyintegratingsiliconanisotropicetchingandUV-LIGAtechnology”;Hightechnologyletters2007,13(4):369-37212.X.M.Jing,G.Engelmann,D.Chen,etal;“ProfileofthewaferlevelECDgoldbumpsundervariableparameters”;JournalofMaterialsScience:MaterialsinElectronics,2008,19(6):563-56813.C.Huang,D.Chen,W.J.Wei,etal;“ACompactWideBandFilterBasedontheLeftHandedMaterialTheory”;MicroelectronicEngineering,2008,85(10):2183-218614.C.Huang,D.Chen,X.Chen,etal;“AmetamaterialdirectionalantennafabricatedusingMEMSTechnique”；传感技术学报，2008,21(3):533-53515.X.M.Jing,D.Chen,C.Huang,etal;“FinepitchECDGoldBumpingtowardsfuturedemands”；功能材料与器件学报,2008,14(1):158-16216.H.W.Sun,J.Q.Liu,P.Gu,D.Chen;“Anti-stickingtreatmentforananoimprintstamp”;AppliedSurfaceScience;2008,254:2955–295917.C.Huang,D.Chen,S.Leidich,T.Gessner;“CompactMeta-materialTransmissionLineBalunBasedonMeanderLinesStructureandMEMSTechnology”;MicroelectronicEngineering,2010,87:584–58718.X.M.Jing,D.Chen,C.Huang,etal;“ElasticMEMSprobecardbasedonPDMS";JournalofMicromechanicsandMicroengineering,2010,20(5):055038(7pp)19.X.M.Jing,D.Chen,X.Chen,etal;"Designandfabricationofamicromachinedbi-layercantileverprobecard";JournalofMicro/Nanolithography,MEMS,andMOEMS(JM3),2010,9(4):04300520.H.W.Sun,G.G.Liu,S.M.Lin,J.Q.Liu,andD.Chen;“Focusedionbeam–basednanoimprintstampforreplicatingmicro/nanostructuresunderlowtemperature”;J.Micro/Nanolith.MEMSMOEMS2010,9:03300521.J.D.Chen,D.Chen,T.Yuan,X.Chen;”MicrofluidicPCRChips”;NanoBiomedicineAndEngineering,2011,3(4):203-21