上海光机所知识创新工程工作简报（第三五九期）2014年12月11日上海光机所三项中国科学院科研装备研制项目通过验收
11月28日，中国科学院条件保障与财务局组织专家对上海光机所承担的中国科学院科研装备研制项目“大纤芯直径石英光纤熔融拉锥系统”、“激光相干数据传输信道模拟测试平台”和“基于高速旋转式的亚波长微纳结构蓝紫光激光刻写装置系统”进行了现场验收。
专家组分别听取了项目负责人的项目工作报告、财务报告、使用报告和测试组的测试报告，现场查看了研制装备的运行情况，一致认为3个项目均顺利完成了实施方案规定的各项任务，实现了研制目标，文档资料齐全、规范，同意通过验收。
“大纤芯直径石英光纤熔融拉锥系统”项目采用独特的双火头设计，并采用可扩展型光纤夹具，可实现不同规格光纤合束器的制备；设备还具备较完善的在线温度、形貌监测及反馈系统，可实现7×1泵浦合束器、（6+1）×1光纤合束器系列产品的制备能力，制备出的合束器合束效率大于95%，实验测试激光合束功率达到1120W。目前，该设备已在高功率光纤合束器的开发和制备中得到应用，且初步具备小批量生产能力，为国内高功率光纤激光器相关项目提供了关键器件。
“激光相干数据传输信道模拟测试平台”项目完成了国内首台激光相干数据传输信道模拟测试设备的研制。该设备首次采用4-f成像放大原理实现了激光远距离传输的无畸变波前传输模拟，实现对相干激光终端的测试；设备采用旋转偏摆一体化技术实现了粗扫描和精扫描的集成，代替了以往的分离器件，使性能有了大幅提升，达到1微弧度偏转精度，结构更加简单和稳定可靠；设备采用波前一阶项和二阶项模拟大气湍流效应，可实现大气湍流的定量模拟。该设备目前已开展多项研究工作，为同济大学、航天805所等用户提供了测试服务，用户反应良好。
“基于高速旋转式的亚波长微纳结构蓝紫光激光刻写装置系统”项目基于蓝紫光波长的远场激光聚焦系统，采用旋转方式，可实现任意图形的灰度刻写，刻写样品直径达120mm，刻写速率可达到6.2m/s。同时，项目结合非线性相变薄膜材料光刻技术，可实现深亚波长微纳结构的任意图形高速刻写，最小特征线宽（或分辨率）达到116nm。该系统自研制完成后，开展了一系列新型光刻材料和工艺技术研究，制备加工了多种微纳图形结构，为后续我所微纳结构光学领域的发展奠定了基础。（科研管理处供稿）
图一 大纤芯直径石英光纤熔融拉锥系统外观和内部结构
图二 激光相干数据传输信道模拟测试平台
图三 基于高速旋转式的亚波长微纳结构蓝紫光激光刻写装置系统
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