近年来,短波段光学的发展尤其是强激光技术的出现,对光学元件表面粗糙度的要求极为苛刻。浮法抛光作为一种非接触式抛光技术,表面粗糙度可达到亚埃米级,接近原子尺寸。工件表面原子在磨料微粒的撞击作用下脱离工件主体,从而被去除。Yoshiharu Namba教授作为浮法抛光技术的创始人,长期致力于超光滑表面加工技术研究。Yoshiharu Namba教授在报告中首先介绍了其团队在浮法抛光技术上取得的新成果,详细阐述了超精密研磨技术和激光损伤测试技术。我所相关科研人员就光学超精密加工、镀膜、检测及KDP晶体元件损伤等方面问题分别进行了报告。最后,Yoshiharu Namba教授同参会人员就相关技术问题进行了深入交流,并对未来相关学科的合作进行了探讨。(恒益公司、中科院强激光材料实验室供稿)
![](http://www.siom.cas.cn/xwzx/zhxw/201711/W020171125687937343548.jpg)