姓名:
王向朝性别:
男
职务:
实验室主任职称:
研究员(自然科学)
学历:
博士研究生毕业通讯地址:
上海市嘉定区清河路390号
电子邮件:
wxz26267@siom.ac.cn邮政编码:
201800

简历：
1982年毕业于大连理工大学。1989年作为日本政府国费留学生赴日本留学，就读于日本新泻大学工学院，1992年获硕士学位，1995年获博士学位。1995年至1998年8月留校任助理教授。1998年9月入选中科院“百人计划”回国，进入上海光学精密机械研究所工作至今，研究员、博士生导师。
作为项目负责人先后完成国家863计划、国家自然科学基金项目、中科院高技术研究与发展重点项目、上海市科委基础研究重点项目、上海市“纳米专项”项目、上海市“光科技专项”项目等二十余项国家、中科院、上海市科研项目。带领课题组在高端光刻机技术、纳米精度光学测量技术、生物医学光学成像技术等领域取得多项科研成果，多项成果经国家级测试机构检测并经专家委员会鉴定达到国际先进水平。
申请国际专利1项，申请国家专利86项（其中发明专利52项），获专利授权69项（其中发明专利35项），获计算机软件著作权2项。发表学术论文300余篇，其中在《AppliedPhysicsLetters》、《OpticsLetters》、《OpticsExpress》、《AppliedOptics》、《JournaloftheOpticalSocietyofAmerica》等国际学术期刊及《中国科学》、《物理学报》、《光学学报》、《中国激光》、《ChineseOpticsLetters》等国内学术期刊上发表论文220余篇。
毕业博士研究生31名，毕业硕士研究生5人，博士后出站1人。目前在读博士生10名。指导的研究生中多人次获中科院院级奖学金。研究方向：光学专业
1.DUV极限光刻矢量场衍射光学
2.EUV光刻成像光学
3.混浊介质光传输理论及其应用
光学工程专业
1.信息光电子技术
2.高端光刻机技术
3.纳米干涉检测技术
4.生物医学光学成像技术
5.先进光传感技术
6.偏振光技术与应用毕业研究生就职情况：

1. 国内外企业从事高新技术研发工作。这些企业包括ASML、KLA-Tencor、Intel、Philips、GE、CharteredSemiconductor等跨国公司，上海微电子装备有限公司(SMEE)、大唐电信等国内高新技术企业。
2. 南京大学、浙江大学等国内高校从事科研、教学工作。
3. 美国UniversityofRice、UniversityofSouthernCalifornia、UniversityofOregon等国外高校从事科研工作。
4. 中科院、航天科技集团、中电科技集团从事科研工作。

(2009年毕业生去向：中科院研究所、Philips、KLA-Tencor)
近年发表论文举例：

1. BoPeng,XiangzhaoWang,ZichengQiu,QiongyanYuan,YutingCao“Aberrationinducedintensityimbalanceofalternatingphaseshiftingmaskinlithographicimaging,”Opt.Lett.35(9),1404-1406(2010).
2. BoPeng,XiangzhaoWang,ZichengQiu,andQiongyanYuan,“Measurementtechniqueforcharacterizingoddaberrationoflithographicprojectionopticsbasedondipoleillumination,”OpticsCommunications,283(11),2309-2317(2010).
3. XinChengandXiangzhaoWang,“Commenton‘Third-orderscatteringmodelforthediffusebackscatteringintensitypatternsofpolarizedlightfromaturbidmedium[Appl.Phys.Lett.90,153902(2007)]’,”Appl.Phys.Lett.94(5),046101-2(2009).
4. ZichengQiu,XiangzhaoWang,QiongyanYuan,andFanWang,“Comameasurementbyuseofanalternatingphase-shiftingmaskmarkwithaspecificphasewidth,”Appl.Opt.48(2),261-269(2009).
5. QiongyanYuan,XiangzhaoWang,ZichengQiu,FanWangandMingyingMa,“Evenaberrationmeasurementoflithographicprojectionsystembasedonoptimizedphase-shiftingmarks,”MicroelectronicEngineering,86(1),78-82(2009).
6. ZichengQiu,XiangzhaoWang,QunyuBi,QiongyanYuan,BoPeng,andLifengDuan“Translational-symmetryalternatingphaseshiftingmaskgratingmarkusedinalinearmeasurementmodeloflithographicprojectionlensaberrations,”Appl.Opt.48(19),3654-3663(2009).
7. ShaoqingWang,XiangzhaoWang,YingmingLiu,andYangBu,“Theoreticalmodelforaperiodicallydrivensemiconductorlasersubjecttoopticalfeedbackfromamicrocantilever,”J.Opt.Soc.Am.B25,1350-1355(2008)
8. DefengZheng,XiangzhaoWang,andZhongliangLi,“Accuracyanalysisofparallelplateinterferometerforangulardisplacementmeasurement,”Optics&LaserTechnology.40(1),6-12(2008).
9. PengBu,XiangzhaoWang,andOsamiSasaki,“One-shotparallelcomplexFourier-domainopticalcoherencetomographyusingaspatialcarrierfrequency,”Opt.Eng.47,050502(2008).
10. KunYang,AijunZeng,XiangzhaoWang,FengTang,HuaWang,“Simultaneousphase-shiftingellipsometrybasedongratingbeamspliter,”Opt.Eng.47,63602,(2008).
11. 李中梁?王向朝?劉英明?佐々木修己,単一光源によるマイクロメカニカル共鳴器の励起および振動検出,光学,37(9),545-550(2008).
12. HuaWang,XiangzhaoWang,AijunZeng,KunYang,“EffectsofcoherenceonanisotropicelectromagneticGaussianSchell-modelbeamsonpropagation,”Opt.Lett.32(15),2215-2217(2007).
13. QiongyanYuan,XiangzhaoWang,ZichengQiu,FanWang,MingyingMa,andLeHe,“Comameasurementofprojectionopticsinlithographictoolsbasedonrelativeimagedisplacementsatmultipleilluminationsettings,”Opt.Express.15(24),15878-15885(2007).
14. FengTang,XiangzhaoWang,YimoZhang,WencaiJing,“Characterizationofbirefringencedispersioninpolarization-maintainingfibersbyuseofwhite-lightinterferometry,”Appl.Opt..46(19),4073-4080(2007).
15. PengBu,XiangzhaoWang,OsamiSasaki,“Full-rangeparallelFourier-domainopticalcoherencetomographyusingsinusoidalphase-modulatinginterferometry,”J.Opt.A:PureAppl.Opt.9(4),422-426(2007).
16. FengTang,XiangzhaoWang,“Influenceofbirefringencedispersionondistributedmeasurementofpolarizationcouplinginbirefringentfibers,”Opt.Eng.46(7),075006(2007).
17. HuaWang,XiangzhaoWang,AijunZeng,WeiLu,“Changesinthecoherenceofquasi-monochromaticelectromagneticGaussianSchell-modelbeamspropagatingthroughturbulentatmosphere,”OpticsCommunications.276(2),218-221(2007).
18. HuaWang，XiangzhaoWang，AijunZengandKunYang，“Anisotropic-source-inducedchangesofthedegreeofpolarizationofstochasticelectromagneticbeamsonpropagation,”J.Opt.A:PureAppl.Opt.9,1053-1056(2007).
19. PengBu,XiangzhaoWang,“Dynamicfull-rangeFourier-domainopticalcoherencetomographybyusingsinusoidalphase-modulatinginterferometry,”Opt.Eng.46(10),105603(2007).
20. DefengZheng,XiangzhaoWangandOsamiSasaki,“ParallelPlateInterferometerwithaReflectingMirrorforMeasuringAngularDisplacement,”OpticalReview,14(5),314-318(2007).

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研究领域：

社会任职：


获奖及荣誉：

代表论著：


承担科研项目情况：