吴衍青,1968年11月出生,研究生学历,理学博士,研究员,硕士生导师。现任物理与环境科学部软X射线组副组长。
电话:021-33933208
电子邮箱:wuyanqing@sinap.ac.cn
主要研究方向软X射线干涉光刻技术
同步辐射光束线设计
个人主要经历一、学习经历
1994年09月2000年04月中国科学院上海光学精密机械研究所光学理学博士
1988年09月1992年07月复旦大学物理学学士
二、科研工作经历
2000年4月至12月中科院上海光机所强光光学实验室助理研究员
2001年1月至11月复旦大学物理系博士后
2001年11月2004年2月韩国浦项工科大学电子电气工程系博士后
2004年7月至今中科院上海应用物理所同步辐射实验部现为研究员
长期从事软X射线干涉光刻技术的研究、同步辐射光束线理论及技术研究。
国家自然科学基金(项目批准号11275255)"基于新型宽带相干光学技术的软X射线干涉光刻"项目负责人;
还先后参与多项国家自然科学基金项目、中科院大科学装置维修改造项目、中科院大科学装置开放研究项目等。
个人主要学术成就在国内外学术刊物发表论文十余篇