9月10日，在2017中国（上海）国际传感器技术与应用展览会暨2017全球传感器与物联网产业峰会上，中国科协副主席、中国科学院院士王曦，工信部原副部长杨学山，国家集成电路产业投资基金总经理、中国高端芯片联盟理事长丁文武，工信部电子司副司长吴胜武，上海市科委主任寿子琪，上海市嘉定区委书记马春雷共同启动上海微技术工业研究院“超越摩尔”研发中试线，标志着国内首条、全球领先、兼容CMOS（互补金属氧化物半导体）的8英寸研发中试线正式投入运营，旨在推动我国“超越摩尔”技术和物联网创新应用快速发展、引领全球。
补上国内“超越摩尔”生态链缺口
如今，以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的新一代信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联智能化时代日益临近。其中，“超越摩尔”技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的核心技术之一。王曦解释说，所谓“超越摩尔”，是指非数字、多元化半导体技术与产品（如传感器）可以在成熟的工艺生产线上研发，无需遵循摩尔定律，在工艺尺寸上越做越小。
传感器的市场应用已呈现爆发式增长态势，产品种类多达上千。美国举行的MEMS （微机电系统）Bryzek大会预测：MEMS芯片市场将在2023年达到1兆片规模。另据预测，我国智能传感器市场将在2019年达到960亿元规模。
然而，纵观我国“超越摩尔”领域现状，虽经历多年理论研究与技术验证，但在产业化阶段，往往存在实验室研发与生产平台脱节的情况。究其原因，是MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发、创新需要与产线有一段比较长的磨合期，可以说对产线“严重依赖”。因此，研发中试线就显得至关重要。
为此，上海微技术工研院立足拥有国内一流集成电路研发和产业基础的上海，志在实施“超越摩尔”计划，争取在这一领域与国际领先水平并行。如今，落地上海嘉定工业区、近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，8英寸“超越摩尔”研发中试线正式运营，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，而且使国内“超越摩尔”生态链得以完善。
上海微工院8英寸研发中试线工艺能力布局图
王曦介绍，在“超越摩尔”领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的8英寸线是公认的领先技术。这条研发中试线将专注于传感器产品技术开发，可以全面开展表面和3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。8英寸研发中试线能承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现“超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。
以8英寸线为支点打造功能型平台
上海微技术工研院总裁杨潇告诉解放日报·上观新闻记者，以全球领先的“超越摩尔”8英寸研发中试线为支点，上海微技术工研院试图打造集研发、工程、市场、孵化于一体的功能型平台，为企业和研发机构提供全方位的服务和解决方案。
上海微工院致力于打造“超越摩尔”产业创新生态。
在研发创新环节，上海微技术工研院建立了全国首个成熟、完善的MEMS-IC软件设计平台、开发MEMS-ICIP核库；“超越摩尔”研发8英寸研发中试线将专注于新工艺、新材料及新器件的开发与整合；同时提供集成电路设计、系统集成以及完整物联网系统解决设计方案。
在中试制造环节，工研院建立了全球领先的8英寸“超越摩尔”研发中试线、世界先进的工程测试分析平台、MEMS/ASIC的晶圆测试、封装测试等测试能力；提供完整的专利及器件分析、研究服务，并提供知识产权许可、保护及谈判方面的专家级指导。
在产业整合领域，工研院将推动汽车电子、智慧医疗、智能安防、智能家居、智能消费类产品等细分物联网市场与传感产业，进行垂直产业链与横向服务市场的整合，推进相关产业的快速发展；发起并参与中国传感器与物联网产业联盟、“超越摩尔”产业技术创新联盟等产业联盟，推动 “超越摩尔”及物联网产业的关键标准制订，并通过SENSOR CHINA等展会与系列活动，提供全球范围的市场支持。
工研院还在构建全球创新网络，已在美国硅谷、法国格勒诺布尔、台湾新竹等地建立了分支机构。投资与孵化方面，由上海微技术工研院、国家集成电路产业投资基金以及其他战略投资人共同发起成立的“超越摩尔”产业基金，规模达50亿元，为创新企业提供关键的早期支持，并配套全球化创新网络，为创业团队提供软硬件结合的孵化服务。
文章来源：上观新闻
图片来源：文汇报、摩尔芯闻
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