姓名:
焦继伟性别:
男
职务:
科室副主任职称:
研究员
学历:
博士研究生通讯地址:
长宁路865号
电话:
62511070邮政编码:
200050
传真:
62524192电子邮件:
jiaojw@mail.sim.ac.cn


简历：
焦继伟，1968年6月出生于江苏无锡。1989年毕业于浙江大学物理系，1994年于中科院上海冶金所（现上海微系统所）获半导体物理与器件专业博士学位。作为主要成员参与国家"八五"攻关项目等课题的科研工作，在低温硅固相键合技术上取得突出成果，处于当时国际先进水平。1996年至2002年，分别于荷兰DelftUniv.ofTechnology、日本三菱电机会社（株）先端技术研究所工作，主要从事MEMS技术、车用微型惯性传感器（角速度和加速度）的开发和量产化工作，以及面向机载APAA的RFMEMS模块的研究。开发出硅－玻璃键合衬底上高深宽比的微机械结构的无损释放技术，实现高成品率的微惯性器件；研制出全单面工艺的GroundedCavity结构的低插损RFMEMS器件和模块。2002年回国，任中科院上海微系统所研究员、博导，2008年起任传感技术国家重点实验室副主任。目前，主要从事惯性器件、MEMS/NEMS技术等相关研究,回国后先后承担多项国家863、973课题等。已发表有关SCI/EI论文50余篇，申请及获得授权国际、国家发明专利10余项。科技产出

研究领域：

社会任职：


获奖及荣誉：

代表论著：


承担科研项目情况：