张嵩松 博士
邮箱：Songsong.zhang@sitrigroup.com
上海大学微电子学院 联聘导师
上海微技术工业研究院 先进声学部 总监




导师介绍：
物联网、人工智能、超越摩尔是国家、甚至全世界共同致力的科研技术方向。作为万物互联和智能制造的源头，先进的传感器是搭建卓越系统、智能平台的基石。根据应用需求，传感器测量的参数，物理量种类繁多。传感器的机理、机制多种多样，其中，基于压电和压阻效应的声学和物理量传感器，随着半导体产业的蓬勃发展，新材料、新工艺的迭代，新应用的拓展，器件本身的小型化，多样化的市场变化而不断创新，新的微机电系统(MEMS)器件也孕育而生。如何响应市场需求，并不断推陈出新且保持传感器性能的先进性，为系统、应用端的推广和更新奠定基础，是微机电传感器研发和产品落地的关键。
本课题组致力于从最终应用角度出发，将系统端需求转换为传感器迭代更新的技术语言。同时结合材料、工艺和设计的优化，不断提高针对特定应用场景的传感器综合性能，助力国内微型传感器产业发展，帮助国家解决器件、芯片端的技术瓶颈。


研究方向：
超声生物医疗器件


教育背景：
2014年博士毕业于新加坡国立大学(University of Singapore)
2009年本科毕业于新加坡国立大学(University of Singapore)


工作经历：
2019年-至今 上海微技术工业研究院 总监
2014年-2019年 新加坡微电子研究院(IME) 研发科学家
2010年-2014年 新加坡国立大学 研发工程师


科研成果及获奖情况：
国际学术期刊及专业代表性论文4篇
已研发基于四种不同工艺制造方式，针对不同频率、声媒介的压电MEMS超声换能器，部分已经量产


近五年代表性论文：
1、Songsong Zhang*, Liang Lou, Yuandong Gu. "Development of Silicon Nanowire-Based NEMS Absolute Pressure Sensor Through Surface Micromachining" IEEE Electron Device Letter. 2017, PP(99):1-1.
2、Songsong Zhang, Shih-Cheng Yen, Zhuolin Xiang, Lun-De Liao, Dim-Lee Kwong and Chengkuo Lee*, “Development of Silicon Probe with Acute Study on in vivo Neural Recording and Implantation Behavior Monitored by Integrated Si-Nanowire Strain Sensors”, IEEE J. Microelectromech. Syst., vol. 24, no.5, pp. 1303-1313, 2015.
3、Songsong Zhang, Tao Wang, Liang Lou, Wei Mong Tsang, Renshi Sawada, Dim-Lee Kwong, and Chengkuo Lee*, “Annularly Grooved Diaphragm Pressure Sensor with Embedded Silicon Nanowires for Low Pressure Application”, IEEE J. Microelectromech. Syst., vol.23, No.6, pp. 1396-1407, 2014.
4、Songsong Zhang, Wei Mong Tsang, Merugu Srinivas, Tao Sun, Navab Singh, Dim-Lee Kwong, and Chengkuo Lee*, “Development of silicon electrode enhanced by carbon nanotube and gold nanoparticle composites on silicon neural probe fabricated with complementary metal-oxide-semiconductor process”, Appl. Phys. Lett., vol. 104, no. 19, pp.193105, 2014.


已授权专利：
Ming-Yuan Chen,Songsong Zhanget.al., WIPO patent, WO 2017/105351 Al(2017)
Method and deployable multi-spine apparatus for catheter-based renal denervation.



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