复旦大学材料科学系教授

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　　汉族，1945年12月出生，浙江镇海人。 1969年毕业于上海复旦大学物理系，先后在复旦大学物理系、电子工程系和材料科学 系任教，期间曾赴美国加州大学伯克利分校和新加坡国立微电子研究所作访问学者，现为 复旦大学材料科学系教授，国家微分析中心常务副主任。长期从事微电子和微分析技术的研究和教学工作，曾主讲过“半导体物理”、“半导体器件原理”、“材料分析”等课程。自1983年起连续参与和主持了多项国家重点科技攻关项目，多次获得国家科技攻关荣誉证书和教育部、电子部、上海市的科技进步奖。曾编写学术著作2部，发表论文45篇，获国家实用新型专利1件。曾参与组织召开了三届＜VLSI中材料和工艺表征国际会议ICMPC＞，分别任该会议的程序委员会委员、秘书长和组织委员会主席；参与组织成立＜亚太地区微分析协会＞，任该协会的常务秘书长。

研究领域
微电子和微分析技术

研究内容
微分析技术研究以及它们在微电子材料分析、工艺表征、器件剖析及失效分析中的应用。

代表性著作
Proc．oflrd Int．Confon MateL＆Proc．Charact．for VLSI Asia、Pacific Microanalysis Association 593PP 1994 主编
集成电路工业全书一技术·经济·管理电子工业出版社1993年编委 （全国高技术重点图书）
电子材料分析复旦大学出版社（待出版）主编
带监控的真空铝膜腐蚀装置实用新型专利 H0lL ZI／ 306 1992年第一发明人
在国内外学术杂志和会议上共发表学术论文45篇，其中约3／4是第一作者