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光电技术研究所我所参加SEMICON China 2015盛会

光电技术研究所 免费考研网/2016-01-18

3月17日上午,SEMICON China 2015大会“IC设计、制造及应用专区”展览会在上海新国际博览中心举行,微电子专用设备总体研究室赵立新副主任带领由我所自主研发的URE2000系列光刻机产品和部分微纳光学器件样品参加了此次盛会。

  在我所展位上,不少国际友人以及国内专业人士前来咨询、洽谈业务,还有很多投资公司前来商讨合作事项。通过SEMICON China2015展览会,既能及时跟进半导体行业的需求,同时也向国内外宣传了光刻机研发的光刻机产品,更为可贵的是,会展期间已经有不少潜在客户签订了购买意向书。

  SEMICON China大会由国际半导体设备和材料协会SEMI及中国电子商会CECC共同主办。自1988年首次在上海举办以来,已成为中国首要的半导体行业盛事之一,囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商。SEMICON China见证了中国半导体制造业茁壮成长以及加速发展的历史,为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出了贡献。

  光电所微电子专用装备是我所重点学科之一,三十多年从事微电子专用设备的攻关与研制,先后获得国家重大技术装备成果一等奖1项,国家科技进步奖三等奖2项;中国科学院重大科技成果一等奖1项;中国科学院科技进步奖一等奖4项、二等奖1项、三等奖1项;中科院自然科学奖三等奖1项;四川省科技进步二等奖1项等;各种国家及省部级奖励共计20余项。近年来,在国家02重大专项的支持下,就高端光刻装备关键技术及整机集成开展了大量研究。目前,我所自主研发的光刻机产品主要有五类:URE-2000系列单面光刻机、URE-2000S系列双面光刻机、URE-2000D系列大面积光刻机、DS-2000系列数字无掩模光刻机以及TYG-2000系列投影光刻机。迄今为止,由我所研发的光刻机产品已经销售有400余台,部分产品已远销美国、新加坡、越南、朝鲜等国家,在国内外微细加工领域受到用户一致的好评。通过多年光刻设备的研发,建立了较为完善的技术研发平台及研发团队,积累了丰富的整机集成经验。我所微电子专用设备总体研究室在国家重大专项“沿途下蛋”理念的指导下,不断进取,取得了丰富的成果。近期开发成功的TYG-2000系列投影光刻机就是在国家重大专项支持下所下的一个“金蛋”。




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