微电子专用装备是中国科学院光电技术研究所的重点研究方向之一，三十多年从事微电子专用设备的攻关与研制，先后获国家重大技术装备成果一等奖1项，国家科技进步奖三等奖2项；中国科学院重大科技成果一等奖1项；中国科学院科技进步奖一等奖4项、二等奖1项、三等奖1项；中科院自然科学奖三等奖1项；四川省科技进步二等奖1项等；各种国家及省部级奖励共计18项。近年来，中科院光电所加大了科研成果转化的力度，特别是在国家“极大规模集成电路制造技术”重大专项的支持下，就高端光刻装备关键技术及整机集成开展了大量研究，在国家重大专项“沿途下蛋”理念的指导下，已经成功研发URE-2000系列单面光刻机（5中型号）、URE-2000S系列双面光刻机（3种型号）、URE-2000D系列大面积光刻机（3种型号）、DS-2000系列数字无掩模光刻机（2种型号）、TYG-2000系列投影光刻机（2种型号）、纳米压印光刻机（1种型号）以及投影物镜、精密工件台、检焦、对准、高精度照明等关键技术产品。迄今为止，由光电所研发的光刻机产品已经销售有300余台，其中有20余台远销美国、新加坡、越南、韩国、朝鲜、缅甸等国家及中国香港，在国内外微细加工领域受到用户一致的好评，推动了微细加工技术的发展。
这次参展的主要目的是扩大产品的影响力度，在中科院光电所的展位上，不少业内专业人士前来咨询、洽谈业务，还有很多投资公司前来商讨合作事项，已经有不少潜在客户签订了购买意向书，例如长三角某单位签订了13台光刻机。
SEMICON China自1988年首次在上海举办以来，已成为中国首要的半导体行业盛事之一，同时已成为世界上半导体行业重要的展会，囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商。SEMICON China见证了中国半导体制造业茁壮成长以及加速发展的历史，为中国半导体制造业未来的强盛壮大作出了贡献。
