大连理工大学物理学院导师教师信息介绍简介-高飞

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本站小编 Free考研考试/2020-03-28

教授博士生导师硕士生导师
主要任职：物理学院副院长
其他任职：副院长
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室4号楼
联系方式：**
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个人简介

高飞，教授/博士生导师，物理学院副院长，主要从事射频等离子体的基本物理过程及与材料相互作用的研究，作为负责人承担国家重点研发计划课题、国家自然科学基金面上项目和青年基金等纵向/横向课题10余项；作为项目骨干参加ITER项目、国家重大科技专项以及国家自然科学基金重点项目等；相关研究成果发表SCI论文30多篇，获批国际/国内发明专利10余项，并获得大连理工大学“星海优青”资助。
所在课题组网站：http://pseg.dlut.edu.cn

教育经历

2007.9--2012.1
大连理工大学等离子体物理博士

2003.9--2007.7
大连理工大学光信息科学与技术学士

2000.9--2003.7
山东省五莲县街头中学

工作经历

2015.1--至今
大连理工大学副教授
2012.2--2014.12
大连理工大学讲师

研究方向

射频感性耦合等离子体物理
大功率负氢离子源物理
离子束与等离子体相互作用
高功率微波等离子体物理

团队成员

等离子体模拟与实验小组（PSEG）

研究领域

论文成果More>>

高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2019,125:23303-23303
左春彦,高飞,戴忠玲,王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350
Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571
Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population dynamics of molecular hydrogen and the generation of negative hydrogen ions in low-pressure ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(7)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)
Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)

专利More>>

一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
一种基于射频放电的正负离子源
一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室
一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法

著作成果

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科研项目More>>

CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 国家科技部 , 2017/07/01, 进行
高功率微波输出窗真空及不同气压下等离子体放电模拟研究, 其他课题, 2015/10/30-2016/10/30, 完成
面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 国家自然科学基金项目, 2016/08/17, 进行
宽能域离子束在等离子体中的能量沉积及其激发的自调制不稳定性和尾波场, 国家自然科学基金项目, 2015/09/01, 进行
射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 国家自然科学基金项目, 2012/09/25, 完成
高功率微波窗击穿诊断研究, 其他课题, 2018/01/29, 进行

研究领域

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论文成果

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[1] 高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2019,125:23303-23303
[2] 左春彦,高飞,戴忠玲,王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350
[3] Li, Jian-quan,Lu, Wen-qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-nian.A comparative study of emissive probe techniques for vacuum space potential measurements[J],VACUUM,2018,155:566-571
[4] Yang, Wei,Li, Hong,Gao, Fei,Wang, You-Nian.A global model study of the population dynamics of molecular hydrogen and the generation of negative hydrogen ions in low-pressure ICP discharge with an expansion region: effects of EEPF[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(7)
[5] Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Wang, Xiang-Yu,Li, Ang,Xu, Jun,Jing, Zhen-Guo,Wang, You-Nian.Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor[J],JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,2018,123(22)
[6] Han, Dao-Man,Liu, Yong-Xin,Gao, Fei,Liu, Wen-Yao,Xu, Jun,Wang, You-Nian.Measurements of argon metastable density using the tunable diode laser absorption spectroscopy in Ar and Ar/O-2[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(6)
[7] Zhang, Yu-Ru,Hu, Yan-Ting,Gao, Fei,Song, Yuan-Hong,Wang, You-Nian.Plasma characteristics in an electrically asymmetric capacitive discharge sustained by multiple harmonics: operating in the very high frequency regime[J],PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,27(5)
[8] Xue, Chan,Gao, Fei,Liu, Yong-Xin,Liu, Jia,Wang, You-Nian.Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas[J],CHINESE PHYSICS B,2018,27(4)
[9] Li, Jianquan,Lu, Wenqi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, Younian.Automatic emissive probe apparatus for accurate plasma and vacuum space potential measurements[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2018,20(2)
[10] 高飞,王友年.Experimental investigation of the electron impact excitation behavior in pulse-modulated radio frequency Ar/O2 inductively coupled plasma[J],J. Appl. Phys.,2018,125:23303-23303
[11] 左春彦,高飞,戴忠玲,王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC 模拟研究[J],物理学报,2018,67(22):267-278
[12] Gao, Fei,Li, Hong,Yang, Wei,Liu, Jia,Zhang, Yu-Ru,Wang, You-Nian.Experimental and numerical investigations of electron characteristics in 2 MHz and 13.56 MHz inductively coupled hydrogen plasmas with an expansion region[J],PHYSICS OF PLASMAS,2018,25(1)
[13] Li, Jian-Quan,Lu, Wen-Qi,Xu, Jun,Gao, Fei,Wang, You-Nian.Automatic emissive probe apparatus for efficient plasma potential measurements[J],REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2017,88(11):115106
[14] 高飞,李宏,刘阳,杨唯,张钰如,王友年.大功率低气压射频感性耦合负氢离子源中电子特性的研究[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[15] 左春彦,温德奇,高飞,王友年.高功率微波输出窗内等离子体产生过程PIC/MC模拟研究[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[16] 薛婵,高飞,张钰如,王友年.感性耦合等离子体中射频偏压相位对离子能量分布的影响[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[17] 刘刚虎,刘永新,高飞,王友年.容性耦合CF4等离子体中二次电子对电子加热模式的影响[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[18] 韩道满,高飞,刘永新,徐军,王友年.甚高频大面积容性放电中电磁效应的实验研究[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[19] 李宏,张钰如,高飞,王友年.射频负氢离子源放电特性的Langmuir探针诊断研究[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1
[20] 刘永新,赵凯,温德奇,刘刚虎,李宏,高飞,张钰如,宋远红,王友年.低气压射频等离子体研究进展[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2017,1

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专利

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[1]一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
[2]Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge
[3]一种基于射频放电的正负离子源
[4]一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
[5]提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室
[6]一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法
[7]一种体产生负氢离子机制的等离子体腔室
[8]一种射频等离子体反应室
[9]一种产生负氢离子机制的等离子体腔室

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著作成果

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科研项目

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[1]CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估, 国家重点研发计划, 2017/07/01, 进行
[2]高功率微波输出窗真空及不同气压下等离子体放电模拟研究, 2015/10/30-2016/10/30, 完成
[3]面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究, 国家自然科学基金, 2016/08/17, 进行
[4]宽能域离子束在等离子体中的能量沉积及其激发的自调制不稳定性和尾波场, 国家自然科学基金, 2015/09/01, 进行
[5]射频感应耦合等离子体对材料表面上原子再复合行为的影响, 国家自然科学基金, 2012/09/25, 完成
[6]高功率微波窗击穿诊断研究, 一般纵向, 2018/01/29, 进行
[7]射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究, 国家自然科学基金, 2014/09/25-2017/12/31, 完成
[8]弱磁场低频驱动高功率低气压感应耦合等离子体源放电机理研究, 国家自然科学基金, 2012/09/25-2016/12/31, 完成
[9]大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究, ITER计划, 2014/12/31, 进行
[10]微束等离子阵列反应器的初步验证, 2018/11/20-2019/11/19, 进行
[11]反应离子刻蚀大口径元件适用性研究, 2018/10/17-2018/12/31, 完成
[12]高频电极间低气压放电试验项目, 2017/01/19-2017/08/01, 进行

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教学资源

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授课信息More>>

科研实践训练 /2019-2020 /春学期 /32课时 /2.0学分 /**
科研实践训练 /2019-2020 /春学期 /32课时 /2.0学分 /**
低气压等离子体实验训练 /2019-2020 /春学期 /32课时 /2.0学分 /**
数学物理方法1 /2019-2020 /秋学期 /32课时 /2.0学分 /**
数学物理方法1 /2019-2020 /秋学期 /32课时 /2.0学分 /**
低气压等离子体实验训练 /2018-2019 /春学期 /32课时 /2.0学分 /**

教学成果

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授课信息

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本科生课程

课程名称学年学期学时学分课程号科研实践训练 2019-2020 春学期 32 2 ** 科研实践训练 2019-2020 春学期 32 2 ** 数学物理方法1 2019-2020 秋学期 32 2 ** 数学物理方法1 2019-2020 秋学期 32 2 ** 科研实践训练 2018-2019 春学期 32 2 ** 数学物理方法1 2018-2019 秋学期 32 2 ** 数学物理方法1 2017-2018 秋学期 32 2 **

研究生课程

课程名称学年学期学时学分课程号低气压等离子体实验训练 2019-2020 春学期 32 2 ** 低气压等离子体实验训练 2018-2019 春学期 32 2 ** 低气压等离子体实验训练 2017-2018 春学期 32 2 **

教学成果

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