孙禹辉,男,讲师,1977年11月生,2012大连理工大学机械制造及其自动化专业博士毕业。硕士博士就读于大连理工大学机械学院现代制造技术研究所,2012年毕业后进入大连民族大学工作。
科研工作:主要研究集成电路制造中大直径硅片加工中的平坦化加工技术,包括材料去除机理、加工工艺和设备研发等。研究中主要应用运动学、材料学、摩擦学、流体力学、表面物理学等理论,为工艺改进以及新型精密磨床、CMP机床设备设计开发提供理论依据,从而实现下一代集成电路制造中对大尺寸硅片的高面型精度和材料去除非均匀性等要求。
参与国家自然科学杰出青年基金(基金号**,精密、超精密加工工艺与设备研究),国家自然科学基金(基金号**大尺寸单晶MgO高温超导基片高效超精密加工理论与技术研究)
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大连民族大学机电工程学院导师教师师资介绍简介-孙禹辉
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杨静萍,1980年1月生,内蒙古呼和浩特人,大连民族大学机电工程学院工业工程系教师,2002年7月本科毕业于大连民族大学机械电子工程专业,2009年7月博士研究生毕业于大连理工大学机械制造及自动化专业。博士毕业后开始在大连民族大学任教。主要教授课程有《运筹学与系统工程》、《管理信息系统》、《质量管理与控制》、《机电传动控制基础》等。致力于工业工程、企业信息化方面的研究与应用,主要研究领域为集成化质 ...大连民族大学 本站小编 Free考研考试 2020-04-09大连民族大学机电工程学院导师教师师资介绍简介-韩志敏
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