2012-07-16
姓名:公勋
职称:副教授 学院:电子科学与工程学院
研究方向:声电子学,声体波和声表面波材料及器件,微机电系统(MEMS)。
目前承当的科研项目 :
国家自然科学基金:《FBAR中氮化铝薄膜的制备及其声学特性的研究》、《TeO2/36°Y-X LiTaO3结构上零温度系数Sezawa波特性的实验研究》;国家重点实验室开放课题:《零温度系数声表面波复合基板的研究》 。
姓名:公勋
职称:副教授 学院:电子科学与工程学院
研究方向:声电子学,声体波和声表面波材料及器件,微机电系统(MEMS)。
目前承当的科研项目 :
国家自然科学基金:《FBAR中氮化铝薄膜的制备及其声学特性的研究》、《TeO2/36°Y-X LiTaO3结构上零温度系数Sezawa波特性的实验研究》;国家重点实验室开放课题:《零温度系数声表面波复合基板的研究》 。