姓 名

施云波

性 别

男

出生日期

1966.09.16

民 族

满

学 历

博士

政治面貌

中共党员
职 务

系主任

职 称

教授

博/硕导师

博导/硕导
联系方式

**

E-mail

shiyunbo@126.com
研究方向

MEMS传感器及微纳系统，测试和应用技术，系统集成技术
主要社会兼职
中国电子学会会员，敏感协会会员， 微纳器件与系统学会会员，国家自然基金、省市科技、省招标局等项目评审人，教育部学位与研究生教育评审人，《半导体学报》、《光学精密工程》Ei 源期刊论文评审人，计量检测技术与仪器专业“十二 五”国家级规划教材 总编委会委员，黑龙江省和哈尔滨市物联网技术专家组成员

教育背景

1983.09-1987.07 天津大学 无机非金属专业 学士学位；

1998.09-2001.04 福州大学 材料学专业 硕士学位；

2002.09-2008.04 哈尔滨理工大学 测试计量技术及仪器专业 博士学位；

2008年 哈尔滨工程大学 机械电子工程博士后流动站 在职深造。
科研课题情况

1. 国家863计划重点专项，面向安全监测与跟踪的网络化微系统重点专项中的子课题《MEMS氯气传感器研发及其产业化研究》，合同编号2006AA**-05，经费100万元，子课题主持，2006年12月-2010年6月；

2. 国家自然基金项目，氧化铝介孔内生长酞菁钯-聚苯胺杂化的有机半导体气体传感器及气敏机理研究，合同编号**，经费25万元，主持，2008年1月-2011年1月；

3. 国家863计划面上项目，具有自检功能的微型压电泵中的子课题《MEMS无铅压电阵子研发》，合同编号2007AA04Z336，经费21.5万元，子课题主持，2007年12月-2010年12月；

4. 黑龙江省教育厅科学技术研究项目，基于气象环境参数的片上MEMS微系统研究，合同编号**，经费2.5万元，主持，2009年1月-2011年12月；

5. 中国博士后科学资助项目（2等），MEMS传感器共性技术及氯气探测器的研究，合同编号**，经费3万元，主持，2008年7月-2010年7月；

6. 黑龙江省博士后资助项目，基于MEMS叠层微结构氯气传感器及检测技术研究，合同编号LBH-Z8231，经费2万元，主持，2008年7月-2010年7月；

7. 哈尔滨理工大学创新性实验计划项目，气氛、湿度、温度环境三参数MEMS集成传感器研制，经费0.4万元，主持，2009年7月-2010年7月；

8. 哈尔滨理工大学教学研究课题，传感技术及仪器专业方向的实验教学研究，合同编号P**，经费0.1万元，主持，2009年7月-2010年12月；
论文

专著情况

[1] 施云波，张淑兰，于灵，张云岭，张滨涛．α-Fe₂O₃烧结体气敏器件[J]．传感器技术，1992，(1)：46-48

[2] 施云波，王洪丽，于灵．金属－二氧化锡高选择CH₄气敏元件的研究[J]．郑州轻工业学院学报(自然科学版)，1994，9(S1)：128-130（被引用1次）

[3] 施云波，陈耐生．纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用[J]．传感器技术，2000，19(6)：1-6（被引用19次）

[4] 沈水发，刘宏，施云波，陈耐生，黄金陵．α-Fe₂O₃基纳米陶瓷制备的CO气敏元件[J]．功能材料，2001，32(2)：193-195（被引用4次）

[5] 施云波，陈宝军，浦龙，张洪泉．多孔陶瓷湿度传感器最新研究进展[J]．传感器世界，2001，(3)：11-20（被引用3次）

[6] 闫青萍，张洪泉，施云波，董新平．测量不确定度基本概念[J]．哈尔滨理工大学学报，2003，8(2)：60-63（被引用1次）

[7] 郭建英，张洪泉，施云波．基于Weibull过程的早期故障排除统计分析法[J]．电子产品可靠性与环境试验，2003，(4)：6-8（被引用1次）

[8] 郑宏婕，张春来，施云波，张广学．基于压力和位移传感器的汽车节胎系统[J]．传感器技术，2004，23(12)：73-77

[9] 施云波，彭忠明，张洪泉，董新平，郭建英．检测神经性毒剂生物传感器的研究[J]．传感器技术，2005，24(5)：22-24. （被引用1次）

[10] 徐敏，金效齐，宫丽红，史克英，施云波．SBA-16模板法电沉积金属Fe的研究[J]．黑龙江大学自然科学学报，2005，22(6)：773-780

[11] 施云波，张洪泉，董新平，郭建英．基于MEMS工艺的声表面波化学毒剂传感器[J]．传感器技术，2005，24(9)：43-45. （被引用3次）

[12] Shi YB, Jin XL, Li Y, Zhang HQ, Dong XP, Guo JY. Study on a Novel SO₂ Gas Sensor Using Self-ordered CuPc-modified SBA-16 film[C]. 6th International Symposium on Test and Measurement (ISTM/05), Dalian, 2005, 1-9: 3607-3610.( ISTP收录）

[13] Zhang HQ, Shi YB, Dong XP, Guo JY. Study on the CO micro Gas Sensor with temperature and humidity compensation[C]. 6th International Symposium on Test and Measurement (ISTM/05), Dalian, 2005, 1-9: 3715-3718.( ISTP收录)

[14] 李月，施云波，殷景华，杨培滋．杂化CuPc有机半导体的气敏特性研究[J]．哈尔滨理工大学学报，2006，11(2)：43-46.

[15] 童利苹，施云波，殷景华．Al₂O₃（Pt）修饰SnO₂气体传感器的制作及性能分析[J]．中国水运理论版，2006，4(4)：146-147.

[16] 施云波，张洪泉，胡竹平，冯侨华，项金娟，郭建英．基于激光微加工Al₂O₃微结构Cl₂传感器的制作及性能研究[J]．传感技术学报，2006，19(5)：2103-2106.( INSPEC收录**，被引用次数4次)

[17] 张洪泉，施云波，郭建英．基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究[J]．传感技术学报，2006，19(5)：2135-2141.( INSPEC收录**，被引用1次)

[18] 施云波，张洪泉，项金娟，冯侨华，胡竹平，郭建英．多孔电极平板结构的PdPc/H₂PtCl₆杂化有机半导体毒气传感器的研究[J]．光学精密工程，2006，14 (5)：840-846( Ei收录**，被引用次数5次)

[19] 施云波，张洪泉，项金娟，郭建英．基于PdPc－PANI杂化有机半导体气体传感器研究[J]．仪器仪表学报， 2006，27(6)：1592-1594. （中国仪表学会优秀论文2等奖）

[20] 张洪泉，施云波，冯侨华，郭建英．带风向识别的风速传感技术研究[J]．仪器仪表学报，2006，27(6)：1669-1671.(Ei收录 **548，被引用次数2次）

[21] Shi YB, Xiang JJ, Feng QH, Hu ZP, Zhang HQ, Guo JY. Binary Channel SAW Mustard Gas Sensor Based on PdPc_0.3PANI_0.7 hybrid Sensitive Film[C]. 4th international Symposium on Instrumentation Science and Technology (ISIST 2006), Harbin, 2006, 48: 292-297. (ISTP、INSPEC收录**，被引用1次)

[22] 施云波，季惠明，张洪泉，李月，郭建英．CuPc/H₂PtCl₆有机半导体毒气传感器的制备与性能[J]．天津大学学报，2006，39(Sl)：345-358

[23] Zhang HQ, Zhang T, Sun LK, Shi YB, Guo JY. Integrated Gas Sensor Based on MEMS [C] .Rare Metal Materials and Engineering, 2006, 35(12): 173-175 (SCI 、ISTP收录)

[24] Zhang HQ, Zhang T, Sun LK, Shi YB, Guo HY. Study on Environmental Multi-parameter Transducer Technology Based on MEMS[C]. Rare Metal Materials and Engineering, 2006, 35(12): 377-380 (SCI、ISTP收录)

[25] 施云波，郭建英，张洪泉，时强，安宏亮．基于MEMS纳米孔Al₂O₃基板的CuCl₂/CuPc传感器及机理研究[J]．高技术通讯，2007，17(1)：54-58.(Ei收录**)

[26] 张洪泉，郭建英，施云波．热燃烧式瓦斯传感器催化剂失活机理研究[J]．传感器与微系统，2007，26(1)：45-47（被引用次数1次）

[27] 冯侨华，施云波，殷景华，郭建英．磁控技术成膜的工艺研究与微观表征分析[J]．科技信息，2007，(2)：15-16（被引用次数1次）

[28] 胡竹平，施云波，殷景华，郭建英．Al₂O₃陶瓷基体温度传感器的激光精密加工技术研究[J]．科技信息，2007，(2)：48-95

[29] 项金娟，殷景华，施云波．PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析[J]．科技信息，2007，(2)：56-57

[30] 童利苹，施云波，殷景华．Al₂O₃(Pt)修饰SnO₂气体传感器的气敏性能[J]．哈尔滨理工大学学报，2007，12(2)：69-72

[31] 冯侨华，施云波．超薄型Pt膜温度传感器的微加工技术研究[J]．哈尔滨理工大学学报，2007，12(5)：53-56

[32] 时强，施云波，郭建英．气象参数采集及数据处理系统设计[J]．电子测量技术，2008，31(1)：166-172

[33] 安宏亮，施云波．HClO₄掺杂PANI/PdPc复合膜及其气体传感器研究[J]．哈尔滨理工大学，2008，13(1)：81-85

[34] 雷廷平，施云波，赵文杰，李赞，王立权．全氯取代酞菁锌的合成及其Cl₂气敏性研究[J]．陶瓷学报，2008，29(3)：250-253

[35] 赵文杰，施云波，修德斌，雷廷平，冯侨华，王立权．In-Nb复合半导体氧化物Cl₂敏感特性的研究[J]．陶瓷学报，2008，29(3)：272-275

[36] 王志丽，修德斌，邢涛，施云波，王立权．半导体型氯气传感器变送电路的研究[J]．陶瓷学报，2008，29(3)：239-241

[37] 邢涛，修德斌，王志丽，施云波，王立权．一种电阻式半导体Cl₂传感器非线性补偿电路的研究[J]．陶瓷学报，2008，29(3)：261-263

[38] 施云芬，施云波，孙墨杰，冯侨华．酞菁钯-聚苯胺修饰声表面波传感器及含磷毒气的检测[J]．半导体学报，2008，29(5)：998-1002.( EI检索**，引用次数1次)

[39] 施云芬，施云波，刘月华，冯侨华，赵文杰，雷廷平．基于MEMS叠层微结构的SO₂毒气传感器[J]．光学精密工程，2008，16(6)：1075-108.( EI检索**，引用次数3次)

[40] 施云波，郭建英，张洪泉，时强．激光微加工纳米孔Al₂O₃陶瓷膜的方法及分析[J]．稀有金属材料与工程，2008，37(S1)：817-820

[41] 施云芬，施云波，王立权，冯侨华．聚苯胺/酞菁铜有机半导体杂化材料的制备及气敏性能[J]．兰州大学学报(自然科学版)，2009，45(3)：86-91

[42] Zhao Wenjie, Shi Yunbo, Xiu Debin, Lei Tingping, Feng Qiaohua, and Wang Liquan. Sensitive properties of In-based compound semiconductor oxide to Cl₂ gas[J]. Journal of Semiconductors, 2009, 30(3): 034010-1—034010-4(Ei收录**391)

[43] Shi Yunbo, Lei Tingping, Li Zan, Xiu Debin, Zhao Wenjie, Feng Qiaohua, and Wang Liquan. Synthesis of organic semiconductor hexadecachloro zinc phthalocyanine and its gas yensitivity[J]. Joural of Semiconductors，2009, 30(3): 034009-1—034009-5（Ei收录**390）

[44] 王志丽，修德斌，邢涛，施云波，王立权．半导体型氯气传感器的信号处理与线性化研究[J]．传感器与微系统，2009，28(4)：18-20

[45] 施云波，王立权，修德斌，宋玲，胡敏．基于AD538非线性补偿的氯气探测器[J]．仪表技术与传感器，2009，(9)：61-63.

[46] 宋玲，施云波，修德斌，胡敏，王立权．基于MSP430的气体传感器批量测试系统[J]．电子测量技术，2009，32(10)：77-80

[47] 施云波，周磊，修德斌，顾简，王立权. 基于GSM的温湿度环境参数远程无线监测系统[J]. 传感器与微系统，2010，29（4）：96-98.

[48] 庞建莹，施云波，修德斌，米继耀，王立权. 基于红外传感器的电气火灾预警系统的研制[J]. 仪表技术与传感器，2010，（3）：64-110.

[49] 施云波，吕芳，冯侨华，王立权. 多孔型阳极氧化铝膜的制备及微观分析[J]. 长春理工大学学报（自然科学版），2010，33（1）：85-88

[50] 施云波，胡东升，赵文杰，冯侨华，王立权. CdIn2O4纳米氧化物制备及氯气敏感特性分析[J]. 哈尔滨商业大学学报（自然科学版），2010，26（3）：360-371

[51] 王全振，施云波，修德斌，顾权，吴丹. 基于MSP430的矿山通风实时监控系统[J]. 电子测量技术，2010，33（6）：66-69

[52] 沙春哲，施云波，修德斌，赵文杰，胡敏，于明岩，刘甜甜. 气体传感器长期稳定性智能检测系统[J]. 电子测量技术，2010，33（6）：102-105

[53] 荣鹏智，施云波，蔡中军，吕芳，王立权. 锆元素修饰钛酸铋钠压电陶瓷的研究[J]. 黑龙江大学自然科学学报，2010，27（4）：512-515

[54] Lei Tingping, Shi Yunbo, Lv Wenlong, Liu Yang, Tao Wei, Yuan Pengliang, Lin Linwei, Sun Daoheng, Wang Liquan. Chlorine gas sensors using hybrid organic semiconductors of PANI/ZnPcCl (16) [J].Joural of Semiconductor, 2010, 31(8):084010-1~084010-5, Ei检索**986

[55] 米继耀，施云波，修德斌，冯侨华，杨晓明，刘丛宁. 基于MSP430的高压开关柜火灾预警系统的研制[J]. 电子测量技术，2010，33（9）：81-84

[56] 杨晓明，施云波，修德斌，赵文杰，米继耀，刘丛宁. 基于Zigbee技术的无线智能家用燃气报警系统[J]. 电子设计工程，2010，18（11）：146-149

[57] 胡敏，施云波，修德斌，赵文杰，沙春哲，刘甜甜，于明岩，王立权. 氯气检测报警器的设计[J]. 仪表技术与传感器，2010，（12）：66-70

[58] Yun-Fen Shi, Qiao-Hua Feng, Wen-Jie Zhao, Yun-Bo Shi, Peng Zhan. Dichlorido [N-(2-pyrid ylmethylidene) benzene-1,4-diamine]zinc(II), ACTA CRYSTALLOGRAPHICA SECTIONE - STUCTURE REPORTS ONLINE, 2010.5 SCI检索

[59] 国际，口头报告，Qiaohua Feng, Lining Sun, Yunbo Shi, Dan Wu. Study on the Porous Alumina MEMS Chip of Electrochemical Directoral Growth Based on Aluminum Film [C]. The 4th International Symposium on Computational Intelligence and Industrial Appliactions, 2010.8, Harbin

[60] 国际，口头报告，Yunbo Shi, Liquan, Wang, Mingyan Yu. The Fabrication and SEM Analysis of MEMS Sensor Chip on the Si-surface Modified by Porous Al₂O₃ [C]. The 4th International Symposium on Computational Intelligence and Industrial Appliactions, 2010.8, Harbin

[61] 国际，口头报告，Wenjie Zhao, Zhen Zhou, Yunbo Shi, Dongsheng Hu. Study on Si-based Plate Microstructure Gas Sensor Intrgrated with Temperature Sensor [C]. The 4th International Symposium on Computational Intelligence and Industrial Appliactions, 2010.8, Harbin

[62] 中国，口头报告，李赞，雷廷平，姜文锐，施云波. [C]. 第七届中国功能材料及其应用学术会议，2010，5：289-292
获奖情况
1 α-Fe₂O₃体型结构可燃气体传感器，黑龙江省科技进步3等奖，第二名，2003年；

2 基于PdPc－PANI杂化有机半导体气体传感器研究，中国仪表学会优秀论文2等奖，第一名，2006年

3 第六届中国大学生创业计划《微纳毒气监测系统创业计划》铜奖指导，《学生科技园丁》荣誉称号，第一名，2009年；

4 微结构传感器及其可靠性研究，黑龙江省高校科技奖1等奖，第二名，2009年；

5 微结构传感器及其可靠性研究，黑龙江省科技自然奖2等奖，第二名，2009年。

6 平板夹心结构的半导体式气体传感器的制造方法，发明专利ZL **7.5，2009年4月，第一名；

7 酞菁钯－聚苯胺混合杂化有机半导体的制作方法，发明专利ZL **5.6，2009年5月，第一名；

8 微型铂热电阻温度传感器的镶嵌式电极引出方法，发明专利ZL **3.5，2009年6月，第一名，转让11万；

9 阵列式多参数风传感器芯片基板，发明专利ZL **6.0，2009年12月，第一名；

10 电化学定向生长Al₂O₃超薄膜基板的制造方法，发明专利ZL**7.7，2010年5月，第一名，