姓　名
檀柏梅
职　称
教授


所在系别
微电子技术与材料研究所

职务或社会兼职
1. 机械工程学会摩擦学分会常务委员
2. 电子学会高级会员
3. 材料学会高级会员

联系电话


电子邮件
bmtan@hebut.edu.cn

通讯地址
天津市红桥区光荣道29号河北工业大学南院微电子所

邮政编码
300130

主讲课程
固体物理、近代固体物理、半导体物理、半导体器件物理、半导体化学理论

导师类型
博导

个人经历或学术经历

1991年毕业于天津大学物理系获理学士学位
1999年毕业于河北工业大学材料学院材料物理与化学专业获工学硕士学位
2003年毕业于河北工业大学信息学院微电子学与固体电子学专业获工学博士学位
1991至今，在河北工业大学任职助理馆员、讲师、副教授、教授。

研究方向

微电子技术与材料，从事集成电路衬底及多层布线的CMP及后清洗的材料、工艺与技术的研究，在碱性CMP材料与技术、半导体表面洁净化技术方面取得了多项成果。


业绩成果

近年来在微电子领域承担或作为主研人参与了国家02重大专项、天津市科技支撑、河北省自然科学基金等十余项科研项目的研究，发表科技论文60余篇，其中SCI、EI收录30余篇，发表专著两部，获得天津市技术发明一等奖一项，二等奖两项，三等奖两项；获得14项国内专利授权，1项美国专利授权，2006年获第九届中国专利优秀奖，天津市专利金奖，在2006年获得河北省高校第六批中青年骨干教师称号。