付 琛

姓名: 付 琛
性别： 男
研究方向：压电薄膜与声学微器件
职称：讲师、助理教授

邮箱：chenfu@szu.edu.cn
座机：


个人简介 工学博士，2017年3月至今在深圳大学物理与光电工程学院任助理教授，副研究员；深圳市海外高层次人才，主要从事智能压电薄膜、声学MEMS器件、微振动以及相关信号的激励与检测。于2011年在中国科学院声学研究所获得博士学位。同年进入韩国Ajou University微机电系统实验室与三星SAIT研究院从事智能薄膜与器件研究。之后从2014年至2017年在英国纽卡斯尔大学从事基于声表面波传感器的研究。目前已在国际著名杂志发表SCI论文20余篇，授权发明专利2项. 主持国家自然科学基金项目2项和市科创委项目2项。目前指导硕士研究生4名，在研经费500万元。同时和国内外一流高校包括英国帝国理工大学，法国洛伦大学，香港城市大学，清华大学，浙江大学，电子科技大学等有着长期的交流与深入合作。我们研究方向紧密结合当下热门的半导体，芯片和智能传感行业需求，解决行业痛点，立足创新，培养相关射频、信号处理、微电子行业的人才需求紧缺人才。 课题组实验室面积超过400平米。包括50平米的百级洁净室和200平米的千级洁净室，100平米的镀膜实验室，另外100平米的测试实验室。具备了声学微器件制作所需的洁净间，完整工艺线（包括基片清洗、镀膜、光刻、腐蚀、划片等）；其中，与主要制备设备和表征仪器有：紫外曝光光刻机（OAI 204），晶圆切割机（东京精密，SS01），磁控镀膜机（Lesker），多腔镀膜仪（ASB-EPI-C6，电子束蒸镀），晶圆键合机（国产，TWB-150）、光学轮廓仪（Rtec）、膜厚分析Stepper（BRUKER DektakXT）等。同时，实验室具备丰富的声学微电子器件分析测试与评价的电学测试仪器设备，主要包括有：网络分析仪（Keysight E5071C,最高频率到4.5GHz），石英微天平(MicroVacuum QCM-I)，荧光显微镜（尼康，NI-U），通用频率计（Keysight 53210A）、数字信号发生器（R&S 100B）、频谱分析仪（Tetronix）、数字示波器（R&S RTO2014），锁相放大器（Zurich HF2LI），射频信号放大器（AR 50U1000）等。2018年深圳大学大学生物理实验设计大赛指导老师，获广东省大学物理竞赛特等奖； 2018年校级“挑战杯”指导教师，学校一等奖；欢迎有兴趣的同学加入我们课题组，一起探索奇妙的微声器件世界！
个人信息 主要主持在研项目： 1 国家自然科学基金委 面上项目 基于能陷型简并声学谐振模式的新型微质量传感器的研究 2020-01-01至2023-12-31 在研 2 国家自然科学基金委 青年项目 基于声表面波微流驱动与传感一体化PSA生物芯片机制的研究 2018-01-01至2020-12-31 在研 3 深圳市自由探索项目 基于双正交声表面波模式的高特异性、高灵敏度和快速响应生物微传感 芯片的研究 2019-03-26至2021-03-31 在研 4 深港联合资助项目 协同创新专项 面向自动驾驶的智能轮胎多参量感知 2020/10/01-2022/9/30 200万 在研 主要代表性论文 [1] Fu C, Ke Y, Quan A, et al. Investigation of Rayleigh wave and Love wave modes in 11 2 ˉ 0 ZnO film based multilayer structure. Surf Coatings Technol. 2019;363(August 2018):330-337. doi:10.1016/j.surfcoat.2019.01.090 [2] Fu C, Quan A J, Luo J T, et al. "Vertical jetting induced by shear horizontal leaky surface acoustic wave on 36° Y-X LiTaO3." Applied Physics Letters 110.17(2017):3626-585. SCI [3] Fu, C.; Ke, Y.; Li, M.; Luo, J.; Li, H.; Liang, G.; Fan, P. Design and Implementation of 2.45 GHz Passive SAW Temperature Sensors with BPSK Coded RFID Configuration. Sensors 2017, 17, 1849. [4] J T. Luo, A J. Quan, G X Liang, Z H Zheng, S Ramadan, C Fu*, H L. Li and Y Q. Fu, ‘Love-mode surface acoustic wave devices based on multilayers of TeO2/ZnO(1120) /Si(100) with high sensitivity and temperature stability’ Ultrasonics, 75 63–70, 2017 (通讯作者) SCI [5] J T Luo, Q A Jie, C. Fu,* et.al. ‘Shear-horizontal surface acoustic wave characteristics of a (110) ZnO/SiO2/Si multilayer structure’ Journal of Alloys and Compounds, 693 558–64. 2017 (通讯作者) SCI [6] C. Fu, Lee K J, Eun K, et.al. ‘Performance comparison of Rayleigh and STW modes on quartz crystal for strain sensor application’ J. Appl. Phys. 120 024501, 2016. SCI [7] C. Fu, K. J. Lee, K. Lee, et.al. “Low-intensity ultraviolet detection using a surface acoustic-wave sensor with a Ag-doped ZnO nanoparticle film,” Smart Mater. Struct., vol. 24, no. 1, p. 015010, Jan. 2015. SCI [8] C. Fu, O. Elmazria, F. Sarry, et.al., “Development of wireless, batteryfree gyroscope based on one-port SAW delay line and double resonant antenna,” Sensors Actuators A Phys., vol. 220, no. 0, pp. 270–280, Dec. 2014. SCI [9] C. Fu, K. Lee, K. Lee, et.al. “A stable and highly sensitive strain sensor based on a surface acoustic wave oscillator,” Sensors Actuators A Phys., vol. 218, pp. 80–87, Oct. 2014. SCI [10] C. Fu, InKi Jung, SangSik Yang et.al., ‘Towards optimized wireless and Love wave biosensor with high sensitivity’, Micro & Nano Letters, pp1-4, 2012. SCI