许佼 助理教授 性别： 女
邮箱： xujiao@szu.edu.cn
办公室： 机电大楼S801
人才称号： 深圳市高层次人才“孔雀计划”C类
最终学位： 工学博士
办公电话： **
导师资格： 硕士生导师


研究领域： （1）高端半导体芯片制造成膜装备研发及关键工艺技术研究；
（2）半导体制程薄膜成膜工艺与质量控制技术研究；
（3）high-k栅介质ALD制备及薄膜器件研发；
（4）极端、特殊工况多元复合薄膜材料的可自由设计与润滑机理研究；
主讲本科课程： 集成电路制造工艺学、工程表达、工程伦理
主讲研究生课程：


教育背景： 2011.09-2014.09，东京大学，机械工程，博士
2009.09-2011.03，西安交通大学，机械工程，硕士
2005.09-2009.06，西北农林科技大学，机械电子工程，学士
工作履历： 2020.05-至今，深圳大学，机电与控制工程学院，助理教授、副研究员，硕士研究生导师
2019.06-2020.05，南方科技大学，材料科学与工程系，研究助理教授，副研究员，硕士研究生导师
2014.10-2019.05，中国科学院兰州化学物理研究所，固体润滑国家重点实验室，助理研究员，项目副研究员

主持项目： 主持在研项目：
（1）国家自然科学基金-青年基金项目，自适应复合薄膜微纳结构与选择性转移行为的关联研究，2018.01-2020.12，主持者
（2）深圳市科创委基础研究专项-面上项目，先进核能用固体润滑薄膜失效机理及抗辐照结构设计研究，2020.2.1-2023.1.31，主持者

代表期刊论文 ： 第一作者及通讯作者论文：
[1] Jiao Xu, Li Qiao, Zewen Duan, Dengji Guo, Liqiang Chai, Xiaoyu Zhao, Peng Wang, Weimin Liu. Self-ion rrradiation on hydrogenated amorphous carbon films at depth of adhesion interlayer: radiation-induced atomic intermixing and degraded film properties. Surface and Interface Analysis.2020, 52, 553–568.
[2] Shusheng Xu, Jiao Xu (co-first author), YuZhen Liu, Yong Hua, Zewen Duan, Yanan Wang, Anne Neville, Xiaoming Gao. Additive manufacturing mono-/di-/tri- types of active sites in MoS2 film electrodes and understanding their electrocatalytic activities for the hydrogen evolution reaction. ACS applied energy materials. 2019, 2(12), 8974-8984.
[3] Jiao Xu, Zewen Duan, Qiao Li, Liqiang Chai, Zhang Chen, Dengji Guo(*), Peng Wang, Weimin Liu. Nonuniform transitions of heavy-ion irradiated a-C:H films in depth direction - Structure and antiwear property degradation analysis. Carbon. 2019, 146, 200-209.
[4] Jiao Xu, Jingyan Nian(co-first author), Zhiguang Guo, Peng Wang, Weimin Liu. Elastic lubricious effect of solidlike boundary film in oil-starvation lubrication. The Journal of Physical Chemistry C. 2019, 123,1677-1691.
[5] Jiao Xu, Tengfei He, Liqiang Chai, Li Qiao, Peng Wang, Weimin Liu.Selective-releasing-affected lubricant mechanism of self-assembled MoS2/Mo-S-C nanoperiod multilayer film sliding in diverse atmospheres. Physical Chemistry Chemical Physics. 2017, 19, 8161-8173.
[6] Jiao Xu, Tengfei He, Liqiang Chai, Li Qiao, Peng Wang, Weimin Liu. Growth and characteristics of self-assembled MoS2/Mo-S-C nanoperiod multilayers for enhanced tribological performance. Scientific Reports. 2016, 6, 25378.
[7] Jiao Xu, LiQiang Chai, Li Qiao, TengFei He, Peng Wang. Influence of C dopant on the structure, mechanical and tribological properties of r.f.-sputtered MoS2/a-C composite films. Applied Surface Science. 2016, 364, 249-256.
[8] Jiao Xu, Masahiro Kawaguchi, Takahisa Kato. Evolution of transfer layers on steel balls sliding against hydrogenated amorphous carbon coatings in ambient air. Tribology International. 2014, 70, 42-51.
[9] Jiao Xu, Sadayuki Watanabe, Hideo Hayashi, Masahiro Kawaguchi, Takahisa Kato. Structural characterization of ion-vapor deposited hydrogenated amorphous carbon coatings by solid state 13C NMR. Journal of Applied Physics. 2014, 115, 014303.
[10] Ziliang Zhu, Dengji Guo*, Jiao Xu*, Jianjun Lin, Jianguo Lei, Bin Xu, Xiaoyu Wu, Xujin Wang. Processing characteristics of micro electrical discharge machining for surface modification of TiNi shape memory alloys using a TiC powder dielectric. Micromachines. 2020, 11, 1018-1–15.
[11] Zewen Duan, Li Qiao, Liqiang Chai, Jiao Xu(*), Peng Wang(*), Weimin Liu. Structure, Properties and growth mechanism of a self-assembled nanocylindrical MoS2/Mo-S-C composite film. Applied Surface Science. 2019, 465: 564–574.
[12] Zewen Duan, Xiaoyu Zhao, Zhenggang Nai, Li Qiao, Jiao Xu(*), Peng Wang(*). Mo-S-Ti-C nanocomposite films for solid-state lubrication. ACS Applied Nano Materials. 2019, 2, 1302-1312.
[13] Yanlong Fu, Tengfei He, Jiao Xu(*), Bo Mu, Xianjuan Pang, Wu Yang(*), Peng Wang. Structure, mechanical and tribological properties of MSN/MoS2 multilayer films. Coatings. 2019, 9, 108.
代表会议论文： [1] 许佼等.重离子辐照作用下固体润滑材料结构演变与性能退化研究.第十四届全国摩擦学大会暨2019年全国青年摩擦学学术会议. 广州, 2019.11.10-2019.11.13, 口头报告.
[2] 许佼等.典型固体润滑材料重离子辐照损伤行为研究.广东省粤港澳大湾区青年摩擦学论坛. 深圳, 2018.12.23, 邀请报告.
[3] Jiao Xu, et al. Frictional Behavior and Lubricating Mechanism of Nanostructural Mo-S-C Coatings in Different Sliding Conditions, World Tribology Congress 2017, Beijing, China, 2017.9.17-2017.9.22, Oral presentation.
[4] 许佼等,自形成纳米多层薄膜MoS2/Mo-S-C 的制备及其选择性转移行为研究. 第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议. 成都, 2016.10.22-2016.10.25, 口头报告.
代表专利： [1]《一种固体润滑薄膜及其制备方法和用途》，中国发明专利，申请号：CNA
[2]《一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途》，中国发明专利，申请号：2.7
代表著作：
获得荣誉： 深圳市高层次人才“孔雀计划”C类
主要学术兼职： 承担国际摩擦学领域高水平SCI期刊Friction、Tribology International审稿人
国内摩擦学领域专业期刊《摩擦学学报》审稿人