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资料目录:
4.1 刻蚀生产工艺流程
4.1.1 硅片刻蚀生产的目的
4.1.2 湿法刻蚀生产和去除PSG的原理
4.1.3 刻蚀生产工艺技术
4.2 刻蚀生产作业规范
4.2.1 生产作业规范
4.2.2 生产作业常见问题
4.3 刻蚀生产质量监控
4.3.1 刻蚀工艺质量的检测
4.3.2 后清洗刻蚀生产常见异常情况处理
4.4 刻蚀生产返工作业
4.4.1 刻蚀生产返工作业操作流程
4.4.2 RENA刻蚀设备的基本维护
4.1 刻蚀生产工艺流程[br] 4.1.1 硅片刻蚀生产的目的[br] 4.1.2 湿法刻蚀生产和去除PSG的原理[br] 4.1.3 刻蚀生产工艺技术[br]4.2 刻蚀生产作业规范[br] 4.2.1 生产作业规范[br] 4.2.2 生产作业常见问题[br]4.3 刻蚀生产质量监控[br] 4.3.1 刻蚀工艺质量的检测[br] 4.3.2 后清洗刻蚀生产常见异常情况处理[br]4.4 刻蚀生产返工作业[br] 4.4.1 刻蚀生产返工作业操作流程[br] 4.4.2 RENA刻蚀设备的基本维护[br]
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