曾理江教授 光电工程研究所 电　话：+86
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教育背景 1979.09－1983.08 北京工业学院（现北京理工大学），光学工程系，本科
1983.09－1986.08 北京工业学院（现北京理工大学），光学工程系，硕士
1986.09－1989.08 清华大学，精仪系，博士

工作履历 1989.09－1992.03 航天部207所，高级工程师
1992.04－1993.03 日本工业技术院（现产业技术综合研究所）计量研究院，客员研究员
1993.04－1997.09 日本科技厅，科学事业振兴事业团，研究员
1997.10－至今　 清华大学精仪系，1998年提升教授

研究领域 精密计量与测试：干涉测量，光栅制作工艺

研究概况 主要研究包括大尺寸光栅的制作技术，光栅的离子束刻蚀及实时监测技术，中阶梯光栅的制作，光栅掩膜的无损检测，光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用，如二维光栅尺，基于光栅的外差调制技术，外差型傅立叶变换光谱仪等。