阮勇副研究员 仪器科学与技术研究所 电　话：+86 -8001
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教育背景 1994.09—1998.07 西安电子科技大学计算机系，计算机应用专业，工学学士
2000.09—2006.01 北京大学微纳电子学系，微电子学与固体电子学专业，硕博连读，理学博士

工作履历 1998.08—2000.07 航天科技集团 西安微电子技术研究所 助理工程师
2006.04—2008.06 清华大学 微电子学研究所博士后
2010.03—2013.11 清华大学 精密仪器与机械学系 助理研究员
2013.12—至今 清华大学精密仪器系 副研究员

研究领域 MEMS加工技术及其相关器件，特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器

研究概况 从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括：
（1）MEMS器件与关键技术；
（2）硅基MEMS工艺规则设计与加工技术；
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员，参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目，已发表论文20余篇，被SCI、EI收录10余篇；申请中国发明专利14项，已经授权8项。